[实用新型]气体扩散器固定框架及真空室

权利要求书

1.一种气体扩散器固定框架，其特征在于，包括若干转角件和若干边框构件，所述转角件和所述边框构件形成多边形的框架，沿框架的周向，每个所述转角件的两端均间隔设置一个所述边框构件，每个所述边框构件的两端均间隔设置一个所述转角件，所述转角件和所述边框构件环绕在气体扩散器的边缘，所述转角件和所述边框构件均与所述气体扩散器连接。

2.根据权利要求1所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，所述转角件包括曲面板、第一弧形板和第二弧形板，所述曲面板包括两个相对的弧形边和两个相对的直边，所述第一弧形板与一个所述弧形边连接，所述第二弧形板与另一个所述弧形边连接，所述直边与所述边框构件的端部相对。

3.根据权利要求2所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，所述转角件还包括第一限位板和第二限位板，所述转角件的两端均设有所述第一限位板和所述第二限位板，所述第一限位板和所述第二限位板分别设置在所述曲面板的两面，所述第一限位板及所述第二限位板部分凸出于所述曲面板的端部，所述边框构件的端部设有凸出部，所述凸出部插入所述第一限位板和所述第二限位板之间。

4.根据权利要求3所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，所述边框构件包括均呈矩形的第一平板、第二平板和第三平板，所述第二平板的一个长边与所述第一平板的一个长边连接，所述第三平板的一个长边与所述第一平板的另一个长边连接，所述第一平板的长度大于所述第二平板和所述第三平板的长度，所述凸出部由所述第一平板的端部形成。

5.根据权利要求4所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，所述凸出部与所述曲面板的端部间隔设置。

6.根据权利要求1至5任一项所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，包括四个所述转角件和四个所述边框构件，所述转角件和所述边框构件形成矩形的框架。

7.根据权利要求1至5任一项所述的气体扩散器固定框架，其特征在于，所述转角件和所述边框构件上均开设有若干连接孔，所述气体扩散器由紧固件与所述转角件和所述边框构件连接。

8.一种真空室，其特征在于，所述真空室内部设有气体扩散器，所述气体扩散器由权利要求1至7任一项所述的气体扩散器固定框架固定。

9.根据权利要求8所述的真空室，其特征在于，所述真空室还包括固定板，所述固定板固定在所述真空室内，所述转角件和所述边框构件均与所述固定板固定连接，所述气体扩散器固定框架设置在所述气体扩散器和所述固定板之间。

10.根据权利要求9所述的真空室，其特征在于，还包括若干吊杆，所述吊杆固定在所述固定板上并与所述气体扩散器连接，所述吊杆远离所述气体扩散器的边缘。