[实用新型]一种化学刻蚀和显影专用的花篮有效
申请号: | 202022848384.6 | 申请日: | 2020-12-02 |
公开(公告)号: | CN213242513U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 明静;张敏 | 申请(专利权)人: | 深圳微纳电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 刻蚀 显影 专用 花篮 | ||
1.一种化学刻蚀和显影专用的花篮,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧壁开设有放置槽(2),所述花篮主体(1)的一侧开设有刻蚀口(3),所述花篮主体(1)的外表面开设有滑槽(4),所述滑槽(4)的内部活动连接有放置板(5),所述放置板(5)的一侧固定连接有拨板(6),所述花篮主体(1)的一侧开设有活动孔(7),所述活动孔(7)的内部活动连接有隔板(8),所述隔板(8)的一侧固定连接有辅助块(9)。
2.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述放置板(5)和拨板(6)的数量均为两个。
3.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)的材质为聚四氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)的正面和背面均开设有导流孔(10)。
5.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)上表面的两侧固定连接有固定块(11)。
6.根据权利要求5所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述固定块(11)的一侧开设有固定孔(12)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造