[实用新型]一种化学刻蚀和显影专用的花篮有效

专利信息
申请号: 202022848384.6 申请日: 2020-12-02
公开(公告)号: CN213242513U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 明静;张敏 申请(专利权)人: 深圳微纳电子科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市龙岗*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 化学 刻蚀 显影 专用 花篮
【权利要求书】:

1.一种化学刻蚀和显影专用的花篮,包括花篮主体(1),其特征在于:所述花篮主体(1)的内侧壁开设有放置槽(2),所述花篮主体(1)的一侧开设有刻蚀口(3),所述花篮主体(1)的外表面开设有滑槽(4),所述滑槽(4)的内部活动连接有放置板(5),所述放置板(5)的一侧固定连接有拨板(6),所述花篮主体(1)的一侧开设有活动孔(7),所述活动孔(7)的内部活动连接有隔板(8),所述隔板(8)的一侧固定连接有辅助块(9)。

2.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述放置板(5)和拨板(6)的数量均为两个。

3.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)的材质为聚四氟乙烯。

4.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)的正面和背面均开设有导流孔(10)。

5.根据权利要求1所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述花篮主体(1)上表面的两侧固定连接有固定块(11)。

6.根据权利要求5所述的一种化学刻蚀和显影专用的花篮,其特征在于:所述固定块(11)的一侧开设有固定孔(12)。

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