[实用新型]上料模组与真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种上料模组与真空镀膜设备，上料模组用于将靶材补入容器，包括基座、密封装置与推动装置，基座具有第一腔体与第二腔体，第一腔体在基座上形成第一开口，第一开口用于连通容器的内腔，第二腔体在基座上形成第二开口，第二开口用于靶材进入第二腔体；密封装置连接于基座，并能够相对基座移动，以打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处；推动装置连接于基座，并能够相对基座移动，以在第一腔体与第二腔体的连接处处于打开状态时，推动第二腔体内的靶材向第一开口的方向移动。上述的上料模组结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及上料模组与真空镀膜设备。

背景技术

靶材是镀膜工艺中不可或缺的的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要持续的添加靶材，同时还需要保证上料处的密封，相关技术中的靶材上料模组结构复杂，生产成本较高，难以满足实际需求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种上料模组，能够简化结构，降低成本。

本实用新型还公开了应用上述上料模组的真空镀膜设备。

根据本实用新型第一实施例的上料模组，用于将靶材补入容器，包括：

基座，具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口用于连通所述容器的内腔，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；

密封装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；

推动装置，连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材向所述第一开口的方向移动。

根据本实用新型实施例的上料模组，至少具有如下有益效果：

在上述的上料模组中，基座开设有第一开口与第二开口，第一开口用于与容器的内腔连通，第二开口用于靶材进入基座的内部，密封装置可以相对基座移动，从而打开或者封闭第一腔体与第二腔体的连接处，如此，当二者的连接处处于打开状态时，推动装置可以推动靶材进入与上料模组连接的容器，当二者的连接处处于封闭状态时，可以使容器上与上料模组相连接的部位处于密封状态，且上述上料模组的结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。

根据本实用新型的一些实施例，所述基座包括：

第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；

第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；

其中，所述密封装置位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述密封装置压紧在所述第一连接件上。

根据本实用新型的一些实施例，还包括锁止装置，所述锁止装置用于将所述第二连接件保持在所述设定位置。

根据本实用新型的一些实施例，所述锁止装置包括导向件，所述导向件与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；

所述锁止装置还包括锁止件，所述锁止件可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。

根据本实用新型的一些实施例，所述导向件的伸出部分具有支撑部，所述支撑部与所述第二连接件之间具有间隙；

所述锁止件与所述第二连接件转动连接，转动至所述间隙内的所述锁止件由所述支撑部进行支撑。