[实用新型]一种用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱

说明书

本实用新型为一种用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱，包括机体，所述机体包括控制箱以及箱门，所述机体的内部设有清洗腔，所述清洗腔上设有放置板，所述放置板设有通孔，所述清洗腔的内壁上设有真空检测器，所述控制箱包括真空泵以及蒸汽发生器，所述控制箱的顶端设有进气口以及真空口，所述真空泵的底端设有传输管，所述蒸汽发生器的底端设有蒸汽进气管，所述进气口上设有过滤层，通过真空泵将清洗腔内部的空气进行排出，通过电磁阀打开进气口，使空气通过过滤层进行净化，使净化后的空气通过蒸汽发生器进行转化蒸汽，蒸汽通过蒸汽进气口进入清洗腔内部，蒸汽通过通孔使多个放置板上的物体进行蒸汽清洗。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱。

背景技术

众所周知，现有的半导体技术领域使用的零部件，往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能，因此在半导体领域内清洗、打磨、除杂等工序是非常重要的一系列技术，很多工艺需要经过对现有的设备进行非标定制才能满足其使用要求，传统的清洗是有机化学溶剂或试剂，对有机残留进行溶解后处理。

如对比公开专利“CN208928675U”名为“用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱”，包括清洗箱、蒸汽管路、真空装置、控制器，所述清洗箱内设置载物层，载物层上布置载物盘，载物盘内放置光电零部件，清洗箱上部以夹层通有蒸汽入口管、下部开有真空管；所述蒸汽管路包括蒸汽发生器和主阀、第一压力表、过滤器、流量控制阀、止回阀，最终连接到蒸汽入口管，止回阀末端伸出支管连接疏水阀，在清洗箱上方还连接有与清洗腔连通的第二真空表；所述抽气装置包括连接真空管的真空泵，所述真空泵的电机、第二真空表、流量控制阀电连接控制器，该清洗箱不方便工作人员将内部的真空进行快速泄压，导致需通过真空泵泄压，等待较长时间，不方便操作，影响生产效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便操作，效率高，

用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于光电零部件的脉动蒸汽真空清洗箱，包括机体，所述机体包括控制箱以及箱门，所述箱门与所述机体之间设有铰链连接，所述机体的内部设有清洗腔，所述清洗腔上设有放置板，所述放置板设有多个，所述放置板设有通孔，所述通孔贯穿所述放置板，所述清洗腔的内壁上设有真空检测器，所述机体的一侧设有泄压口，所述泄压口连通所述清洗腔，所述泄压口上设有电磁阀，所述控制箱安装在所述机体的顶端，所述控制箱包括真空泵以及蒸汽发生器，所述真空泵以及蒸汽发生器均安装在所述控制箱的内部，所述控制箱的顶端设有进气口以及真空口，所述真空泵的底端设有传输管，所述传输管连通所述清洗腔，所述真空泵连通所述传输管以及真空口，所述蒸汽发生器的底端设有蒸汽进气管，所述蒸汽进气管连通所述清洗腔，所述蒸汽发生器连通所述进气口以及蒸汽进气管，所述进气口上设有过滤层，所述控制箱的一侧设有控制面板，所述控制面板与所述真空检测器、电磁阀、真空泵以及蒸汽发生器之间设有电路线连接。

为了方便工作人员控制进气，本实用新型改进有，所述进气口的内部设有进气阀，所述控制面板与所述进气阀之间设有电路线连接。

为了防止空气灰尘进入内部，影响清洗效率，本实用新型改进有，所述真空口的内部设有防尘网。

为了更快的引导蒸汽进行内部，本实用新型改进有，所述蒸汽进气管的内部设有导风扇，所述导风扇设有转动电机，所述控制面板与所述转动电机之间设有电路线连接。

为了方便工作人员观察清洗状态，本实用新型改进有，所述机体的一侧设有观察窗。

为了使观察窗能够承受真空压力，本实用新型改进有，所述观察窗上设有多层玻璃。