[实用新型]一种从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的装置

说明书

本实用新型公开了一种从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的装置，抓取光学零件的装置，包括抓取装置和吸附装置；抓取装置包括安装基板、连接弹簧、吸嘴安装盘和吸嘴组件；连接弹簧的一端连接安装基板、另一端连接吸嘴安装盘；吸嘴组件安装在吸嘴安装盘上；吸附装置包括加热模块、第一真空泵、顶针和行程控制装置；加热模块顶部中央设有导热柱、周边设有围挡；围挡的顶部设有布满透气孔的吸附板；加热模块、围档、导热柱和吸附板之间的部分形成真空腔，真空腔与第一真空泵连通；导热柱和加热模块上设有贯通的行程孔，顶针的尾部连接在行程控制装置上、头部伸入行程孔内。上述装置有效提高了从粘性蓝膜上吸附抓取样品的成功率，降低了对机械臂定位精度的要求。

技术领域

本实用新型涉及一种从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的装置，属于光学零件的制备领域。

背景技术

微电子、微光学和微光电子器件在生产过程中常常利用带粘性的蓝膜来承载器件，在前道工艺完成后，需要将每一个微器件从蓝膜上取下来进入后道工艺(例如清洗、检测、分类、封装等)。

将产品从蓝膜上取下，是目前生产实践中的一个难题。生产微电子、微光学、微光电子器件的材料都是脆、软、易碎裂、易被蹭伤的特种材料，经实践，单靠负压吸附将样品从蓝膜上取下来的成功率很低，一方面，在吸附时，需要加大吸嘴对样品的挤压力，以尽可能地提高吸附的稳定性，这样很容易在吸附过程中造成样品的损坏，另一方面，在剥离时，容易在从蓝膜上拽取样品的时候，造成吸嘴漏气，进而导致样品从吸嘴脱落，导致取样失败。同时实际工况条件下，机械臂的空间定位精度也是有一定的限制的，过高的要求不但导致设备成本的大幅度上升，而且给设备标定、维护等生产和使用带来严重的负担。

实用新型内容

本实用新型提供一种从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的装置，有效提高了从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的成功率，同时降低了对机械臂定位精度的要求。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种从粘性蓝膜上吸附抓取光学零件的装置，包括抓取装置和吸附装置；

抓取装置包括安装基板、连接弹簧、吸嘴安装盘和吸嘴组件；安装基板和吸嘴安装盘相对设置；连接弹簧位于安装基板和吸嘴安装盘之间，连接弹簧的一端连接安装基板、另一端连接吸嘴安装盘；吸嘴组件上设有柔性吸嘴，吸嘴组件安装在吸嘴安装盘上、且柔性吸嘴从吸嘴安装盘的外侧面伸出，其中，安装基板和吸嘴安装盘之间为内，反之为外；

吸附装置包括加热模块、第一真空泵、顶针和行程控制装置；加热模块顶部沿周边设有围挡；围挡内侧的加热模块顶部设有导热柱；导热柱外的围挡的顶部设有吸附板，吸附板为环形，吸附板的内周边与导热柱的顶部周边相接，吸附板的顶部与导热柱的顶部齐平，吸附板的外周边与围挡周边相接，吸附板上分布有透气孔；加热模块、围档、导热柱和吸附板之间的部分形成真空腔，真空腔通过管路与第一真空泵连通；导热柱和加热模块上设有沿轴向设置、且贯通的行程孔，顶针的长度大于行程孔的轴向长度，顶针的一端为头部、另一端为尾部，顶针的尾部连接在行程控制装置上、顶针的头部从加热模块一侧伸入行程孔，在行程控制装置的带动下，顶针沿导热柱轴向移动、且顶针的头部可从导热柱端伸出。

使用时，安装基板与机械臂、自动化XYZR移动台等运动部件连接，且通常情况下安装基板和吸嘴安装盘呈上下布置，柔性吸嘴位于吸嘴安装盘的底部。