[实用新型]旋转酸洗花篮

说明书

旋转酸洗花篮。本实用新型涉及芯片加工设备，尤其涉及旋转酸洗花篮。包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；所述花篮盖板的一端与所述花篮主体的顶部铰接，另一端与所述花篮主体之间通过所述花篮卡扣可拆卸固定连接；所述花篮卡扣的一端活动连接在所述花篮主体上，另一端设有与所述花篮盖板适配的可拆卸连接的卡口；所述花篮主体包括一对板座和若干限位杆；一对所述板座分别可调节固定设置在所述限位杆的两侧；所述板座上设有若干与所述限位杆适配的弧形调节孔；若干所述弧形调节孔与若干所述限位杆的数量相等，并一一对应；所述限位杆的端部通过螺母与所述板座可调节固定连接。本实用新型具有结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率等特点。

技术领域

本实用新型涉及芯片加工设备，尤其涉及旋转酸洗花篮。

背景技术

在集成电路组件的工艺中，最频繁的步骤就是晶圆的洗净，晶圆洗净的目的是为了去除附着于晶片表面上的有机化合物、金属杂质或微粒等污染物。而这些污染物对于产品后续工艺步骤的影响非常大。目前通常清洗方式是将晶圆摆放与晶片舟上，通过酸洗花篮限位固定后，放入酸洗槽中进行清洗。由于晶圆规格的种类不断增多，所以造成生产过程中由于作业晶圆片架的尺寸不一，在酸洗时需对旋转花篮进行更换，以适用不同尺寸的片架。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率的旋转酸洗花篮。

本实用新型的技术方案是：包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；

所述花篮盖板的一端与所述花篮主体的顶部铰接，另一端与所述花篮主体之间通过所述花篮卡扣可拆卸固定连接；

所述花篮卡扣的一端活动连接在所述花篮主体上，另一端设有与所述花篮盖板适配的可拆卸连接的卡口；

所述花篮主体包括一对板座和若干限位杆；

一对所述板座分别可调节固定设置在所述限位杆的两侧；

所述板座上设有若干与所述限位杆适配的弧形调节孔；

若干所述弧形调节孔与若干所述限位杆的数量相等，并一一对应；

所述限位杆的端部通过螺母与所述板座可调节固定连接。

所述花篮卡扣呈板状。

所述板座包括内侧板和外侧板；

所述内侧板与外侧板之间通过限位杆上的螺母相互固定；

所述外侧板上靠近顶部的中部位置设有连接设备旋转轴的旋转安装孔。

所述花篮盖板包括一对压板和一对平行设置的连接杆；

一对所述压板分别竖向固定设置在所述连接杆的端部。

本实用新型中包括花篮主体、花篮盖板和花篮卡扣；花篮盖板的一端与花篮主体的顶部铰接，另一端与花篮主体之间通过花篮卡扣可拆卸固定连接；花篮主体包括一对板座和若干限位杆；本案中限位杆设有4个，形成与晶片舟适配的容纳腔；使用时，将限位杆两端的螺栓分别松开，使限位杆获得在弧形调节孔可自由调节的状态；此时，将盛满晶圆片的晶片舟放入花篮主体中，通过晶片舟的尺寸自动调节限位杆在弧形调节孔内的位置状态，与之适配，拧紧螺母；盖合花篮盖板，通过花篮卡扣使得花篮盖板与花篮主体固定。本实用新型具有结构紧凑、提高酸洗花篮使用效率和清洗效率等特点。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图一，

图2是本实用新型的立体结构示意图二，

图3是本实用新型的立体结构示意图三，

图4是本实用新型的主视结构示意图，

图5是图4右侧结构示意图，