[实用新型]一种可调节推力的晶圆推片器治具

说明书

本实用新型提供一种可调节推力的晶圆推片器治具，包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述推送部上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述扫描检测组件包括检测所述晶圆匣中晶圆数量的检测传感器，所述检测传感器电连接所述控制器。本实用新型使用方便，能够在晶圆推送之前检测晶圆的数量，并根据晶圆的数量进行调节推力，进而推动晶圆，避免推力过大损坏晶圆或推力不够的情况，提高了生产安全性，避免损坏晶圆而造成作业事故。

技术领域

本实用新型涉晶圆载具领域，尤其涉及一种可调节推力的晶圆推片器治具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，随着集成电路芯片的广泛应用，晶圆的重要性也逐渐体现出来。在晶圆的加工过程中，需要用到晶圆匣对其进行运输和保管，但是在运输和搬运的过程中，需要将晶圆匣放置在治具上将其中一个晶圆匣中的晶圆推送到另外一个晶圆匣中。

在现有技术中，一般都是先将晶圆按插在一个晶圆匣中，然后再进行推动推送，在推动晶圆匣中的晶圆时，往往是使用一个电机来带动推杆，但是这种电机带动推杆的推动力在推1片和推25片晶圆的推动力是相同的，然而晶圆片又轻又薄，在晶圆匣中装有不同数量的晶圆时，推杆的推力过大，非常容易把晶圆推坏，做成严重作业事故，或者推杆推力不足，不易推动晶圆，而晶圆生产工艺难度大，价值高，晶圆一旦损坏将造成严重的损失，耗费成本。

发明内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种可调节推力的晶圆推片器治具，能够在晶圆推送之前检测晶圆的数量，并根据晶圆的数量进行调节推力，进而推动晶圆，避免推力过大损坏晶圆或推力不够的情况，提高了生产安全性，避免损坏晶圆而造成作业事故。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种可调节推力的晶圆推片器治具，包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构安装在所述治具平台上并位于所述晶圆匣的一侧；所述晶圆推送机构的推送方向对应于所述晶圆匣的入口，所述晶圆匣内设有沿垂直方向均匀排布的晶圆插槽；

所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述推送部上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述扫描检测组件包括检测所述晶圆匣中晶圆数量的检测传感器，所述检测传感器电连接所述控制器。

优选的，所述推送部的推送面上设有对应所述晶圆插槽的晶圆推槽，所述压力传感器安装在所述推送部的中心部，并与所述推送部的推动面连接。

优选的，所述推送组件还包括电动推杆和驱动单元，所述推送部安装在所述电动推杆的端部上，所述驱动单元连接所述电动推杆，并驱动所述电动推杆朝向所述晶圆匣移动；所述驱动单元与所述控制器电连接。

优选的，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件，所述检测传感器安装在所述检测杆件上并与所述检测杆件同步移动，所述检测杆件对应所述晶圆匣入口并沿着垂直方向移动。

优选的，所述检测杆件横向设置在所述推送部上方，所述检测传感器为两个对应设置对射传感器，且分别安装在所述检测杆件的两端，所述检测传感器朝向所述晶圆匣的入口延伸设置，所述检测传感器电连接有控制器；

所述检测杆件为伸缩杆，所述检测杆件朝向所述晶圆匣的入口方向伸缩。

优选的，所述扫描检测组件还包括安装两个对应设置的立板，所述推送部安装在两个所述立板之间；所述检测杆件横向连接在两个所述立板之间；两个所述立板上均设有用于安装所述检测杆件的滑动件，所述滑动件在所述立板上沿Z轴方向上下移动，所述检测杆件与所述滑动件同步移动。

优选的，所述扫描检测组件还包括驱动电机和连接在驱动电机上的传送带，所述传送带沿Z轴方向设置，所述滑动件固定连接在所述传送带上，所述驱动电机驱动所述传送带沿Z轴方向往复传动；