[实用新型]一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具

权利要求书

1.一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于，包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构安装在所述治具平台上并位于所述晶圆匣的一侧；所述晶圆推送机构的推送方向对应于所述晶圆匣的入口，所述晶圆匣内设有沿垂直方向均匀排布的晶圆插槽；

所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述扫描检测组件包括移动式检测杆件和检测传感器，所述检测传感器安装在所述检测杆件上并与所述检测杆件同步移动，所述检测杆件对应所述晶圆匣入口并沿着垂直方向移动；

所述检测杆件横向设置在所述推送部上方，所述检测传感器为两个对应设置对射传感器，且分别安装在所述检测杆件的两端，所述检测传感器朝向所述晶圆匣的入口延伸设置，所述检测传感器电连接有控制器；

所述检测杆件为伸缩杆，所述检测杆件朝向所述晶圆匣的入口方向伸缩。

2.根据权利要求1所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述推送组件还包括电动推杆和驱动单元，所述推送部安装在所述电动推杆的端部上，所述驱动单元连接所述电动推杆，并驱动所述电动推杆朝向所述晶圆匣移动；所述驱动单元与所述控制器连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述扫描检测组件还包括安装两个对应设置的立板，所述推送部安装在两个所述立板之间；所述检测杆件横向连接在两个所述立板之间；两个所述立板上均设有用于安装所述检测杆件的滑动件，所述滑动件在所述立板上沿Z轴方向上下移动，所述检测杆件与所述滑动件同步移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述扫描检测组件还包括驱动电机和连接在驱动电机上的传送带，所述传送带沿Z轴方向设置，所述滑动件固定连接在所述传送带上，所述驱动电机驱动所述传送带沿Z轴方向往复传动。

5.根据权利要求4所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述传送带设置在所述立板的外侧，所述立板的内侧均设有沿Z轴方向设置的导轨，所述滑动件卡嵌配合在所述导轨上，部分所述滑动件延伸至所述立板外部并与所述传送带固定连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述检测杆件与所述滑动件之间设置有朝向所述晶圆匣X轴向滑轨，所述检测杆件上设有滑块，所述检测杆件通过所述滑块滑动连接在所述滑动件上的X轴向滑轨上，两个所述立板的内侧均设有导向槽，所述检测杆的两侧分别延伸至所述导向槽内。

7.根据权利要求6所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述导向槽包括第一部导向槽和第二部导向槽，所述第一部导向槽斜向下设置，所述第二部导向槽沿Z轴方向竖直设置，所述第一部导向槽与所述第二部导向槽连通。

8.根据权利要求7所述的晶圆推片器治具，其特征在于，所述第一部导向槽位于所述第二部导向槽的上方，所述第一部导向槽的最低处的高度大于所述推送部最高处的高度。