[实用新型]一种测试效果好的半导体器件用固定测试组件

说明书

本实用新型涉及一种测试效果好的半导体器件用固定测试组件，包括陶瓷固定座和测试片组件；待测芯片设置在陶瓷固定座上；测试片组件的一端引脚与陶瓷固定座上的待测芯片电连接，另一端引脚与测试PCB基板电连接；测试片组件包括对称设置的两个测试片机构；测试片机构包括测试片固定座、测试片组和固定板；测试片组固定在测试片固定座内；固定板盖在测试片固定座上，用于限位测试片组；整体配合精度较高，保证和提高了测试的可靠性及有效性；悬浮式陶瓷定位结构，保证了整个固定测试组件在使用过程更加稳定。

技术领域

本实用新型涉及一种测试组件，尤其涉及一种测试效果好的半导体器件用固定测试组件。

背景技术

在半导体芯片大规模研发及生产过程中均需要各类性能检测，芯片测试为测试中关键环节，芯片测试是将芯片定位后通过线路板之间电子信号电流传输从而达到测试效果，芯片测试需要有相应的测试部件，测试部件的质量和匹配程度直接影响测试判断准确性。目前常见的测试部件产品定位为普通吸嘴自动校正对位定位及盖板定位，测试片安装后使其固定形成芯片与测试片点对点接触，这样的结构存在如下缺点：1. 芯片管脚与测试片针尖点对点接触，会造成接触偏移，形成接触不良出现Open及Conta；2. 产品测试时定位不准确，接触有偏差影响测试精准度 ；3. 测试不稳定。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种保证和提高了测试使用过程中的可靠性及有效性的测试效果好的半导体器件用固定测试组件。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种测试效果好的半导体器件用固定测试组件，陶瓷固定座和测试片组件；所述待测芯片设置在陶瓷固定座上；所述测试片组件的一端引脚与陶瓷固定座上的待测芯片电连接，另一端引脚与测试PCB基板电连接；所述测试片组件包括对称设置的两个测试片机构；所述测试片机构包括测试片固定座、测试片组和固定板；所述测试片组固定在测试片固定座内；所述固定板盖在测试片固定座上，用于限位测试片组。

优选的，所述测试片组为3组测试片组；所述每组测试片组为2片测试片，形成一路左右开尔文；所述测试片固定座内设有卡槽；所述测试片下方设有卡扣；所述测试片通过卡扣卡槽配合固定在测试片固定座内。

优选的，所述陶瓷固定座包括固定块、活动块、定位陶瓷块和缓冲机构；所述固定块上部内开有凹槽；所述定位陶瓷块通过活动块设置在凹槽内；所述定位陶瓷块的顶部设有定位待测芯片的定位槽；所述缓冲机构与固定块下部连接。

优选的，所述缓冲机构包括一组左右对称设置的导向机构和下压缓冲机构；所述导向机构包括导向柱和导向轴承；所述导向柱与固定块下部相连；所述导向轴承设置在导向柱外；所述下压缓冲机构包括下压高度限位轴和悬浮压缩缓冲弹簧；所述下压高度限位轴与活动块相连；所述悬浮压缩缓冲弹簧设置在下压高度限位轴外，与固定块下部相连。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、测试片组分3组，每组为2片形成一路左右开尔文，测试片通过慢走丝进行高精度单片切割，后进行表面处理，绝缘层处理，形成单片测试片。测试片采用进口工程塑料通过精雕拉槽做成，将2片测试片进行装配通过后，通过卡槽卡扣固定在在测试片固定座，并通过固定板固定，保证了测试片组的整体精度，测试片组高精度能够更好的配合接触芯片的精度从而保证和提高了测试的可靠性及有效性。

2、悬浮式陶瓷定位，通过定位陶瓷块和缓冲机构的配合构成悬浮式结构，能够很好的配合待测芯片下压时与测试片的接触缓冲提搞接触性能，陶瓷定位凹槽通过切割研磨达到所需定位精度，陶瓷定位槽可精准定位来保证芯片与测试片的接触精度。

3、通过悬浮压缩缓冲弹簧内增加合理高度的下压高度限位轴可有效的控制待测芯片的下压高度，保证了整个固定测试组件在使用过程更加稳定，增加寿命，降低使用成本。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：