[实用新型]一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置有效
申请号: | 202023302102.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214736214U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈宏;郝贵荣;张国威;杜晶;梁浩;李庆 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 波纹管 位移 装置 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:包括支撑座(1)、第一支撑杆(2)、第二支撑杆(3)、弧型支撑部(4)和第一螺栓(7),第一螺栓(7)与支撑座(1)可旋转地连接,第一螺栓(7)与第一支撑杆(2)的一端枢接,第一支撑杆(2)的另一端与第二支撑杆(3)的一端枢接,第二支撑杆(3)的另一端与弧型支撑部(4)枢接,弧型支撑部(4)用于对波纹管(5)进行夹持,使位于波纹管(5)内部的籽晶杆朝一个方向倾斜。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:所述第一螺栓(7)上设有第一螺母(6),第一螺母(6)用于将所述第一螺栓(7)与所述支撑座(1)紧固。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:所述第一螺栓(7)的螺栓头(8)与所述第一支撑杆(2)的一端使用连接副枢接,连接副包括第二螺栓(21)和第四螺母(25),在第二螺栓(21)上设有第二螺母(23)和第三螺母(24),第二螺母(23)与所述第一螺栓(7)的螺栓头(8)相连,第三螺母(24)与所述第一支撑杆(2)的一端相连,第四螺母(25)用于紧固所述第一螺栓(7)和所述第一支撑杆(2)。
4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:所述第二支撑杆(3)与所述第一支撑杆(2)通过连接副枢接。
5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:还包括第七螺母(44)、第三螺栓(45)、调节手柄(46)、轴套(47)和第三连接部(48),所述弧型支撑部(4)的外弧通过第三连接部(48)与轴套(47)连接,轴套(47)与第三螺栓(45)的末端铰接,第三螺栓(45)的头部与调节手柄(46)固定相连,第三螺栓(45)与第七螺母(44)螺纹相连,第七螺母(44)的顶面与所述第二支撑杆(3)的末端通过连接副枢接。
6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:所述第七螺母(44)的顶面上与第六螺母(43)的底面固定相连,第六螺母(43)的一个侧面通过第二连接部与第五螺母(41)的一个侧面固定相连,第六螺母(43)和第五螺母(41)都设置在所述第二支撑杆(3)末端的连接副上。
7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,其特征在于:所述支撑座(1)包括底板(11)和三角架(12),底板(11)设置在三角架(12)的底部,底板(11)上设有开孔。
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