[实用新型]一种可调节硅片石英舟有效
| 申请号： | 202023311796.2 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN213583726U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陶锡昆 | 申请（专利权）人： | 昆山佳鹿石英有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调节 硅片 石英 | ||
1.一种可调节硅片石英舟，其特征在于：包括底板(1)、侧托板(2)、活动杆(4)、第一分隔条(6)和第二分隔条(7)；所述底板(1)中部设有通槽(11)，底板(1)两侧设有第一转动轴(3)，所述活动杆(4)底端与第一转动轴(3)两端铰接，所述侧托板(2)连接于两个所述活动杆(4)之间，活动杆(4)顶端设有固定块(5)，所述第一分隔条(6)通过第二转动轴(8)与固定块(5)贯穿连接，第二转动轴(8)端部设有第一拧块(9)，所述第二分隔条(7)通过第三转动轴(12)连接于所述通槽(11)上，第三转动轴(12)端部设有第二拧块(13)，所述第一分隔条(6)和第二分隔条(7)上均设有分隔槽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第一分隔条(6)的数量具体为两个，呈对称状设置于所述底板(1)两侧。
3.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第一分隔条(6)和第二分隔条(7)均为矩形，所述分隔槽(10)具体包括第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)，第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)分别设于所述第一分隔条(6)和所述第二分隔条(7)的四侧面上；所述第一分隔槽(100)、第二分隔槽(101)、第三分隔槽(102)和第四分隔槽(103)的数量均为若干个，具体呈直线阵列状设置。
4.根据权利要求1所述的一种可调节硅片石英舟，其特征在于：所述第二分隔条(7)上的分隔槽与所述第一分隔条(6)上的分隔槽(10)的位置相对应。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
