[发明专利]光学滤波器阵列、光检测装置及光检测系统在审
申请号: | 202080007402.8 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN113439203A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 石川笃;稻田安寿;久田和也 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31;G01N21/01;G01N21/25;G03B11/00;G02B5/20;G02B27/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 安香子 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 滤波器 阵列 检测 装置 系统 | ||
1.一种光学滤波器阵列,在生成N个波段各自的图像数据的光检测装置中使用,N是4以上的整数,其中,
具备多个光学滤波器;
上述多个光学滤波器包括上述N个波段各自中的透射率互不相同的多个种类的光学滤波器;
当设上述多个光学滤波器对于上述N个波段中的第i波段的光的透射率的平均值为μi时,
对于上述N个波段的上述透射率的平均值μi的标准偏差σμ由下述数式1表示:
[数式1]
i是1以上且N以下的整数;
上述透射率的平均值μi的标准偏差σμ是0.13以下。
2.一种光学滤波器阵列,在生成N个波段各自的图像数据的光检测装置中使用,N是4以上的整数,其中,
具备多个光学滤波器;
上述多个光学滤波器包括上述N个波段各自中的透射率互不相同的多个种类的光学滤波器;
当设上述多个光学滤波器对于上述N个波段中的第i波段的光的透射率的标准偏差为σi时,
对于上述N个波段的上述透射率的标准偏差σi的平均值是0.07以上,i是1以上且N以下的整数。
3.一种光学滤波器阵列,在生成N个波段各自的图像数据的光检测装置中使用,N是4以上的整数,其中,
具备多个光学滤波器;
上述多个光学滤波器包括上述N个波段各自中的透射率互不相同的多个种类的光学滤波器;
当设上述多个光学滤波器对于上述N个波段中的第i波段的光的透射率的平均值为μi,上述多个光学滤波器对于上述第i波段的光的透射率的标准偏差为σi,并且Ri=(μi+3σi)/(μi-3σi)时,
对于上述N个波段的Ri的平均值是2.0以上,i是1以上且N以下的整数。
4.如权利要求1~3中任一项所述的光学滤波器阵列,其中,
通过使用以规定的灰阶数对光强度进行检测的光检测器计测上述多个光学滤波器各自对于上述第i波段的光的透射率而得到的上述透射率的直方图中的峰值的透射率,小于上述多个光学滤波器对于上述第i波段的光的透射率的平均值μi。
5.如权利要求1~4中任一项所述的光学滤波器阵列,其中,
上述多个光学滤波器中的至少1个是法布里-珀罗滤波器。
6.如权利要求1~4中任一项所述的光学滤波器阵列,其中,
上述多个滤波器中的至少1个具有共振结构,该共振结构包括第1反射层、第2反射层、以及上述第1反射层与上述第2反射层之间的中间层,并且具有模数互不相同的多个共振模。
7.如权利要求1~6中任一项所述的光学滤波器阵列,其中,
上述第i波段的中心波长λi和上述多个光学滤波器对于上述第i波段的光的透射率的平均值μi具有正相关。
8.一种光检测装置,其中,具备:
权利要求1~7中任一项所述的光学滤波器阵列;以及
图像传感器,检测透射了上述光学滤波器阵列的光。
9.一种光检测系统,其中,具备:
权利要求8所述的光检测装置;以及
信号处理电路,基于从上述图像传感器输出的信号,生成对于上述N个波段各自的图像数据。
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