[发明专利]圆筒内表面检查装置

说明书

与在检查探测器内利用光纤束对反射光进行传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且简化检查探测器的构造。检查探测器(12)通过将由石英玻璃构成的圆筒状的中空的玻璃管(61)插入于由不锈钢等构成的圆筒状的外装部件(62)而构成。玻璃管(61)将来自激光发光装置(16)的激光作为照射光(101)而经由中空区域传输至前端部。检查探测器(12)将照射光(101)经由玻璃管(61)的中空区域传输至前端部，利用设置于其前端部的反射镜(64)使照射光反射，由此将照射光(101)向检查对象物(80)的内表面照射，利用反射镜(64)使从检查对象物(80)的内表面反射的反射光(102)反射并经由玻璃管(61)的除了中空区域以外的区域而传输至光电变换部(17)。

技术领域

本发明涉及用于检查圆筒状的被检查物的内表面的伤痕的有无等状态的圆筒内表面检查装置。

背景技术

汽车、电气产品等各种产品中存在使用圆筒状的部件、设置有圆筒状的孔的部件的结构。如果上述部件或部件的圆筒内表面附着有伤痕、异物或污垢等，则产品的性能、品质产生问题，因此提出了用于检查圆筒内表面的伤痕的有无等状态的各种检查方法、检查装置。

例如，为了检查汽车发动机的气缸、制动器主气缸等的内表面的伤痕的有无等，提出了从圆筒状的孔的外侧利用照相机等装置进行拍摄的检查方法、将在前端安装有光学元件等的筒状的检查探测器插入于圆筒状的孔中，利用照相机、激光进行内表面的检查的检查方法等。

在上述各种检查方法中，为了能够高速地检查小径孔的内部表面，提出了如下方法，即，使激光向检查对象的孔的内表面照射，对其反射光的强度进行测定，由此对检查对象的孔的内表面的伤痕的有无等进行检查(例如参照专利文献1)。

该专利文献1中公开了以如下方式构成的表面检查装置，即，使激光通过旋转自由地安装于具有激光振荡器的主体部的旋转筒体内的光引导空间向被检查体表面照射，经由配置于旋转筒体内的多根光纤向主体部侧的判定处理装置传输来自被检查体表面的反射激光。关于该表面检查装置，通过检测反射激光的强度的变化而判定检查对象的圆筒内表面的伤痕等的有无。

专利文献1：日本特许第5265290号公报

发明内容

关于上述这样的当前的检查装置，形成为如下构造，即，利用由设置于作为检查探测器的旋转筒体内的多根光纤构成的光纤束，传输来自圆筒内表面的反射光并传输至光电二极管等光检测元件。

然而，光纤由芯体和包层构成，仅对由芯体部分接收到的反射光进行传输。另外，在筒状的旋转筒体内与用于使向检查对象面照射的照射光通过的光路不同地设置有用于传输反射光的光纤束的情况下，为了确保使照射光通过的光路而形成为中空构造，需要使用管状的加强部件。

其结果，相对于旋转筒体的剖面积的反射光的有效受光面积会减小。因此，传输的反射光的强度无论如何都会减弱，需要将用于检测反射光的强度的光电变换传感器等设为灵敏度较高的结构。

另外，因在旋转筒体内设置光纤束、管状的加强部件等，还产生检查探测器的构造变得复杂、制造耗费劳力、成本提升等问题。

并且，关于构成光纤束的多根光纤，在接收反射光的光纤产生偏差的情况下，因与光电变换传感器的位置关系而受光灵敏度会发生变化，从而有可能无法进行准确的检查。

本发明的目的在于提供一种圆筒内表面检查装置，与在检查探测器内利用光纤束使反射光传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且能够简化检查探测器的构造。

本发明具有：激光发光装置，其产生用于向圆筒状的检查对象物的内表面照射的激光；