[发明专利]用于斜面蚀刻腔室的加热器支撑套件

权利要求书

1.一种加热器支撑套件，包括：

加热器组件，所述加热器组件包括具有上表面和下表面的加热器板；

卡环，所述卡环设置在所述加热器板的所述上表面的至少一部分上；

加热器臂组件，所述加热器臂组件包括加热器臂并且支撑所述加热器组件；和

加热器支撑板，所述加热器支撑板设置在所述加热器板与所述加热器臂之间，并且与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触。

2.如权利要求1所述的加热器支撑套件，进一步包括下支撑板，所述下支撑板设置在所述加热器支撑板下方，并且其中所述下支撑板包括钢、不锈钢、铁、铬、镍、铝、它们的合金或它们的任何组合。

3.如权利要求2所述的加热器支撑套件，进一步包括中心插塞，所述中心插塞设置在所述下支撑板下方。

4.如权利要求1所述的加热器支撑套件，进一步包括附接组件，所述附接组件将所述加热器板和中心插塞耦接在一起。

5.如权利要求4所述的加热器支撑套件，其中所述附接组件包括夹紧插塞、紧固件和致动装置。

6.如权利要求5所述的加热器支撑套件，其中所述附接组件包括两个或更多个紧固件和两个或更多个致动装置。

7.如权利要求5所述的加热器支撑套件，其中所述紧固件包括螺栓或螺钉，并且所述致动装置包括弹簧。

8.如权利要求1所述的加热器支撑套件，其中所述加热器臂组件进一步包括耦接到所述加热器臂的上表面的防滑钉。

9.如权利要求8所述的加热器支撑套件，其中所述防滑钉进一步包括定位螺钉、带肩螺钉、桥接杆和锁定定位螺钉。

10.如权利要求9所述的加热器支撑套件，其中所述防滑钉进一步包括两个或更多个定位螺钉和两个或更多个带肩螺钉。

11.如权利要求1所述的加热器支撑套件，其中所述加热器臂组件进一步包括耦接到所述加热器臂的下表面的加热器冷却轴。

12.如权利要求1所述的加热器支撑套件，进一步包括泵吸板，所述泵吸板耦接到所述加热器臂组件。

13.如权利要求1所述的加热器支撑套件，其中所述加热器支撑板包括石英、二氧化硅、二氧化硅、氧化铝、铝氧化物、铝氮化物、铝氧氮化物、氧化钇、钇氧化物、金属、它们的硅酸盐、它们的陶瓷或它们的任何组合。

14.一种加热器支撑套件，包括：

加热器组件，所述加热器组件包括具有上表面和下表面的加热器板；

卡环，所述卡环设置在所述加热器板的所述上表面的至少一部分上；

加热器臂组件，所述加热器臂组件包括加热器臂并且支撑所述加热器组件；

加热器支撑板，所述加热器支撑板设置在所述加热器板与所述加热器臂之间，并且与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触；

下支撑板，所述下支撑板设置在所述加热器支撑板下方；和

中心插塞，所述中心插塞设置在所述下支撑板下方。

15.一种加热器支撑套件，包括：

加热器组件，所述加热器组件包括具有上表面和下表面的加热器板；

卡环，所述卡环设置在所述加热器板的所述上表面的至少一部分上；

加热器臂组件，所述加热器臂组件包括加热器臂并且支撑所述加热器组件；

加热器支撑板，所述加热器支撑板设置在所述加热器板与所述加热器臂之间，并且与所述加热器板的所述下表面的至少一部分接触；和

中心插塞，所述中心插塞设置在所述加热器支撑板下方。