[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

是通过对对象物照射激光，在所述对象物形成改性区域的激光加工装置，

所述激光加工装置具备：

支撑部，其将具有第1表面及所述第1表面的相反侧的第2表面的所述对象物，以所述第2表面与Z方向正交的方式进行支撑；

光源，其出射所述激光；

空间光调制器，其对自所述光源出射的所述激光进行调制；

聚光部，其将由所述空间光调制器调制的所述激光自所述第2表面侧聚光于所述对象物；以及

控制部，其以所述激光分支成包含0级光的多个加工光，且所述多个加工光的多个聚光点在所述Z方向及与所述Z方向垂直的X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制所述空间光调制器，并且，以所述X方向与沿着所述第2表面延伸的线的延伸方向一致，且所述多个聚光点沿着所述线相对地移动的方式，控制所述支撑部及所述聚光部中的至少一方，

所述控制部，以在所述Z方向上，所述0级光的聚光点，相对于所述0级光的理想聚光点位于所述激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于所述非调制光的所述聚光点位于所述0级光的所述理想聚光点的相反侧的方式，控制所述空间光调制器。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述控制部具有：输入接受部，其接受关于通过所述多个加工光的所述改性区域的形成位置的第1数据，

所述控制部基于所述第1数据、及关于所述0级光的所述理想聚光点与所述0级光的所述聚光点的距离的第2数据，以所述0级光的所述聚光点位于自所述第2表面起的规定深度的方式，控制所述支撑部及所述聚光部中的至少一方。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部还具有：存储部，其存储所述第2数据。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述输入接受部接受所述第2数据的输入。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制部，以所述多个聚光点具有越靠近所述激光的相对移动方向上的前侧，则位于越靠近所述Z方向的所述第1表面侧的位置关系的方式，控制所述空间光调制器。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制部，以在所述多个加工光中，被分支为在所述激光的相对移动方向上的最前侧的加工光具有最大的输出的方式，控制所述空间光调制器。

7.一种激光加工方法，其中，

是通过对对象物照射激光，在所述对象物形成改性区域的激光加工方法，

所述激光加工方法具备：

第1工序，其准备具有第1表面及所述第1表面的相反侧的第2表面的所述对象物；以及

第2工序，其通过在以所述第2表面与Z方向正交的方式支撑所述对象物的状态下，使用空间光调制器来对所述激光进行调制，并且将经调制的所述激光自所述第2表面侧聚光于所述对象物，

在所述第2工序，以所述激光分支成包含0级光的多个加工光，且所述多个加工光的多个聚光点在所述Z方向及与所述Z方向垂直的X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制所述空间光调制器，并且以在所述Z方向上，所述0级光的聚光点，相对于所述0级光的理想聚光点位于所述激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于所述非调制光的所述聚光点位于所述0级光的所述理想聚光点的相反侧的方式，控制所述空间光调制器，并且，在使所述X方向与沿着所述第2表面延伸的线的延伸方向一致的状态下，使所述多个聚光点沿着所述线相对地移动。