[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

说明书

激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在Z方向上，0级光的聚光点，相对于0级光的理想聚光点位于激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于非调制光的聚光点位于0级光的理想聚光点的相反侧的方式，控制空间光调制器。

技术领域

本公开涉及一种激光加工装置及激光加工方法。

背景技术

作为对对象物照射激光而在对象物上形成改性区域的激光加工装置，已知有使激光调制成激光被分支成多个加工光且多个加工光聚光于互相不同的部位的装置(例如参照专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-223620号公报

专利文献2：日本特开2015-226012号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

上述这样的激光加工装置，由于能够通过多个加工光形成多列改性区域，因此，在谋求加工时间的短缩化上极为有效。

本公开的目的在于提供在将激光分支成多个加工光的加工中，能够获得高的加工品质的激光加工装置及激光加工方法。

用于解决技术问题的技术手段

本公开的一个方式的激光加工装置，是通过对对象物照射激光，在对象物上形成改性区域的激光加工装置，具备：将具有第1表面及第1表面的相反侧的第2表面的对象物，以第2表面与Z方向正交的方式进行支撑的支撑部；出射激光的光源；对从光源出射的激光进行调制的空间光调制器；将由空间光调制器进行调制的激光从第2表面侧聚光于对象物的聚光部；以及控制部，其以激光分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及与Z方向垂直的X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与沿着第2表面延伸线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方，控制部，以在Z方向上，0级光的聚光点，相对于0级光的理想聚光点位于激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于非调制光的聚光点位于0级光的理想聚光点的相反侧的方式，控制空间光调制器。

在该激光加工装置中，多个加工光中的1个即0级光的聚光点，在Z方向上，相对于0级光的理想聚光点位于非调制光的聚光点的相反侧、或相对于非调制光的聚光点位于0级光的理想聚光点的相反侧。由此，可抑制激光中的未被空间光调制器调制的非调制光对0级光的聚光状态造成影响(例如，非调制光与0级光干涉)。因此，根据该激光加工装置，在将激光分支成多个加工光的加工中，能够获得高的加工品质。

在本公开的一个方式的激光加工装置中，控制部也可以具有：输入接受部，其接受关于通过多个加工光的改性区域的形成位置的第1数据，控制部基于第1数据、及关于0级光的理想聚光点与0级光的聚光点的距离的第2数据，以0级光的聚光点位于自第2表面起的规定深度的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。由此，既可抑制非调制光对0级光的聚光状态造成影响，又可在自第2表面起的期望的深度形成改性区域。

在本公开的一个方式的激光加工装置中，也可以是，控制部还具有：存储部，其存储第2数据。由此，可省去操作员输入第2数据的作业时间。

在本公开的一个方式的激光加工装置中，也可以是，输入接受部接受第2数据的输入。由此，操作员可将0级光的理想聚光点与0级光的聚光点的距离设定成期望的值。