[发明专利]工艺数据处理方法、装置、存储介质与电子设备

权利要求书

1.一种工艺数据处理方法，其特征在于，所述方法包括：

获取针对工艺数据的修改数据；

根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；

当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取针对工艺数据的修改数据，包括：

响应于用户对所述工艺数据的查询请求，提供所述工艺数据的可编辑数据；

接收针对所述可编辑数据的修改数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述接收针对所述可编辑数据的修改数据，包括：

响应于对所述可编辑数据的编辑完成操作，接收所述修改数据。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述可编辑数据包括所述工艺数据的预设字段，其中，所述预设字段包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检查所述修改数据是否合规包括：

确定所述修改数据的字段；

获取各字段的预设修改规则；

利用所述预设修改规则检查所述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设修改规则包括以下任意一条或多条：

所述字段下允许设置的数值；

所述字段下数据的格式为预设格式；

所述字段下不存在重复数据；

所述字段下不存在空值；

所述字段下不存在特殊字符；

所述字段下的数据为预设值中的任意一个；

至少两个所述字段下数据的关联设置规则；

所述字段下数据是否与预存数据一致。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在检查所述修改数据是否合规时，所述方法还包括：

在确定所述修改数据不合规时，生成关于所述修改数据的提示信息。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：

在所述修改记录中对所述修改数据对应的修改位置进行标记。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：

生成关于所述修改记录的链接；

响应于用户选择所述链接的操作，提供所述修改记录。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取当前工艺数据，并比对所述当前工艺数据与所述修改记录，得到比对结果。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述修改记录包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述比对结果包括：所述修改前的工艺数据与当前工艺数据是否一致，所述修改后的工艺数据与当前工艺数据是否一致。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取针对工艺数据的修改数据前，所述方法还包括：

响应于用户对所述工艺数据的查询请求，显示所述工艺数据的预览数据。

14.一种工艺数据处理装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取针对工艺数据的修改数据；

检查模块，用于根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；

生成模块，用于当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。