[发明专利]工艺数据处理方法、装置、存储介质与电子设备

说明书

本公开提供了一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备，属于制造技术领域。所述方法包括：获取针对工艺数据的修改数据；根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。本公开可以提高数据检查的效率，降低数据修改的错误率。

技术领域

本公开涉及制造技术领域，尤其涉及一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备。

背景技术

在半导体和集成电路等技术领域，电子元件的制造往往需要使用各种各样的机器设备，例如，半导体电子元件在制作过程中需要应用到薄膜机台、黄光机台、刻蚀机台和化学机械研磨机台等多种不同的加工机台，以逐步定义元件的图案；同时，为了使电子元件的产品特性符合规格需求，操作人员需要对作业环境制定严格的洁净度标准，对加工机台也制定了严苛的规格要求，在作业过程中，需要频繁检测作业环境和加工机台等是否满足生产标准。

在实际生产中，机台、配方等数据是每一生产步骤的关键，对该类数据的修改效率关乎生产和测试的进度。而一个元件的完整生产数据包括大量的数据表和字段，在进行修改时需要人工筛选修改位置并进行修改，但由于数据量较大，人工检查容易漏改、误改，导致工艺数据的查验效率较低，也耗费了大量的人力资源。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开提供了一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备，进而至少在一定程度上改善现有技术工艺数据查验效率较低的问题。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的第一方面，提供一种工艺数据处理方法，所述方法包括：获取针对工艺数据的修改数据；根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述获取针对工艺数据的修改数据，包括：响应于用户对所述工艺数据的查询请求，提供所述工艺数据的可编辑数据；接收针对所述可编辑数据的修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述接收针对所述可编辑数据的修改数据，包括：响应于对所述可编辑数据的编辑完成操作，接收所述修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述可编辑数据包括所述工艺数据的预设字段，其中，所述预设字段包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述检查所述修改数据是否合规包括：确定所述修改数据的字段；获取各字段的预设修改规则；利用所述预设修改规则检查所述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述预设修改规则包括以下任意一条或多条：所述字段下允许设置的数值；所述字段下数据的格式为预设格式；所述字段下不存在重复数据；所述字段下不存在空值；所述字段下不存在特殊字符；所述字段下的数据为预设值中的任意一个；至少两个所述字段下数据的关联设置规则；所述字段下数据是否与预存数据一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在检查所述修改数据是否合规时，所述方法还包括：在确定所述修改数据不合规时，生成关于所述修改数据的提示信息。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：在所述修改记录中对所述修改数据对应的修改位置进行标记。