[发明专利]一种真空镀膜中样品翻转装置有效
| 申请号： | 202110031442.2 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112877667B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 郑军;赵栋才;王启民;张泽 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/14 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王瑞 |
| 地址： | 243032 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 样品 翻转 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜中样品翻转装置，其特征在于，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有同轴的所述主动齿轮与所述被动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述被动齿轮，所述固定转动部与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮通过与其同轴的被动齿轮和相邻的所述被动齿轮啮合连接，其余相邻的所述被动齿轮之间啮合连接；
所述固定转动部为圆环形固定齿轮，所述圆环形固定齿轮设置在转盘下方，圆环形固定齿轮上端面设置有轮齿，圆环形固定齿轮和所述主动齿轮啮合连接，在所述转盘绕自身轴线旋转时，所述主动齿轮在所述固定齿轮上作圆周滚动。
2.如权利要求1所述的真空镀膜中样品翻转装置，其特征在于，圆环形固定齿轮上端面的所述轮齿弧形排布。
3.如权利要求1所述的真空镀膜中样品翻转装置，其特征在于，圆环形固定齿轮上端面的所述轮齿环形排布。
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