[发明专利]一种真空镀膜中样品翻转装置

说明书

本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜中样品翻转装置。

背景技术

在真空镀膜技术中，样品一旦放入真空室，就很难再干预样品的位置，所以当需要样品做某种运动时，会变得非常困难。

目前最常用的改变样品位置的方法是通过磁流体传递一个旋转的力，旋转的力驱动工件架旋转，从而也驱动装载在工件架上的样品旋转。通过对工件架做合适的设定，能完成类似行星的旋转。该类装置适合从侧面对工件进行镀膜的装置。

镀膜过程中，如果从下向上镀膜，或从上向下镀膜，只能完成样品面向蒸发源或者靶源的面的镀膜，另一面会被遮挡。针对这种现象，目前公开的样品翻转方法是将放置样品的整个转盘进行翻转；或者将放置样品的转盘分成梯形，当转盘转动时，会驱动梯形自转，从而完成样品的翻转。前者完成样品翻转时，对有效的镀膜空间并无浪费，但转盘的直径决定转盘翻转时所占据的空间，所以真空室的设计会很大；后者虽然对真空室空间无特殊要求，但将转盘分割成梯形时，在梯形上摆放样品会对有效镀膜空间造成浪费，降低镀膜效率。

鉴于上述缺陷，本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。

发明内容

为解决上述技术缺陷，本发明采用的技术方案在于，提供一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接。

较佳的，所述固定转动部设置为固定齿轮，所述转盘下方设置有圆环形的所述固定齿轮，所述固定齿轮上端面设置有轮齿，所述固定齿轮和所述主动齿轮啮合连接。

较佳的，所述固定齿轮上端面的所述轮齿弧形排布。

较佳的，所述固定齿轮上端面的所述轮齿环形排布。

较佳的，所述固定转动部设置为拨片，所述拨片对应所述主动齿轮设置。

与现有技术比较本发明的有益效果在于：本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。

附图说明

图1为所述真空镀膜中样品翻转装置的结构示意图；

图2为所述转盘的连接结构立体视图；

图3为所述转盘的连接结构正视图；

图4为所述转盘的连接结构仰视图；

图5为所述转盘的结构视图；

图6为所述固定齿轮的结构视图；

图7为所述拨片的结构视图；

图8为当转盘为伞状时的栅条结构示意图；

图9为以拨片代替固定齿轮时的传动示意图。