[发明专利]衍射光学元件的制备方法及衍射光学元件

权利要求书

1.一种衍射光学元件的制备方法，包括：

S101：制备软模版，作为第一半模，其中所述软模版上具有所述衍射光学元件的表面形貌；

S102：提供或制备第二半模；

S103：在所述第一半模和所述第二半模之间注塑UV胶；

S104：使所述UV胶固化形成一体成型的衍射光学元件；和

S105：将所述一体成型的衍射光学元件脱模取出；

其中所述第一半模或所述第二半模的边缘具有拦胶坝。

2.如权利要求1所述的制备方法，其中所述步骤S101包括：

提供硬模版，在所述硬模版的表面沉积抗粘膜层；

在所述硬模版上注塑软模胶；

通过PET基底或玻璃基底对软模胶进行压印固化，得到带有基底的所述软模版，作为所述第一半模。

3.如权利要求2所述的制备方法，其中所述步骤S102包括：

提供第一底板，在所述第一底板上放置玻璃基板，其中所述玻璃基板的长度小于所述第一底板的长度；

向所述玻璃基板上注塑软模胶；

用第二底板对软模胶进行压印固化，在所述第二底板的边缘形成拦胶坝，并在所述第二底板的表面沉积抗粘膜层，作为所述第二半模；

其中所述拦胶坝围成的区域小于或等于所述第一半模的区域。

4.如权利要求1所述的制备方法，其中所述步骤S101包括：

提供硬模版，在所述硬模版的表面沉积抗粘膜层；

在所述硬模版上注塑软模胶；

对软模胶进行压印固化，得到边缘具有拦胶坝的所述软模版，作为所述第一半模。

5.如权利要求2-4中任一项所述的制备方法，其中所述抗粘膜层的材料为三氯硅烷。

6.如权利要求2-4中任一项所述的制备方法，其中所述硬模版的材料为晶圆硅片。

7.如权利要求1-4中任一项所述的制备方法，其中所述软模版的材料为聚二甲基硅氧烷。

8.如权利要求3所述的制备方法，其中所述第一底板和第二底板的材料为PET或玻璃。

9.一种衍射光学元件，通过如权利要求1-8中任一项所述的制备方法形成。

10.一种一体成型的衍射光学元件，其中所述衍射光学元件不包括玻璃基底或PET基底。