[发明专利]一种致密Sb2 在审
申请号: | 202110061792.3 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN112885711A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 朱良欣;王命泰;陈俊伟;刘荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L51/42;H01L51/46;B82Y10/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 卢敏 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 致密 sb base sub | ||
1.一种致密Sb2S3薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)、室温下将醋酸锑粉末溶于N,N-二甲基甲酰胺和醋酸的混合溶液中,搅拌10-30min后,得到浓度为0.8-1.2M的醋酸锑溶液,再在醋酸锑溶液中加入硫脲,搅拌10-30min后,得到Sb2S3反应物前驱体溶液;
(2)、将步骤(1)所得Sb2S3反应物前驱体溶液在目标基底上进行旋涂,得到Sb2S3反应物前驱体薄膜;然后,在N2保护下将Sb2S3反应物前驱体薄膜于250-380℃下退火5-15分钟,得到致密Sb2S3薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种致密Sb2S3薄膜的制备方法,其特征在于:所得致密Sb2S3薄膜的厚度,可由步骤(1)中Sb2S3反应物前驱体溶液的浓度和/或步骤(2)中的重复旋涂次数控制。
3.根据权利要求1或2所述的一种致密Sb2S3薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)所述N,N-二甲基甲酰胺和醋酸的混合溶液中,N,N-二甲基甲酰胺与醋酸的体积比为4:1。
4.根据权利要求1或2所述的一种致密Sb2S3薄膜的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,醋酸锑与硫脲的摩尔比为1:1.8。
5.根据权利要求1或2所述的一种致密Sb2S3薄膜的制备方法,其特征在于:所述目标基底为沉积有TiO2薄膜的FTO导电玻璃。
6.一种基于致密Sb2S3薄膜的太阳电池,其特征在于:包括玻璃衬底、沉积于玻璃衬底上的光阳极层、沉积于光阳极层上的电子传输层、生长于电子传输层上的致密Sb2S3薄膜、沉积于致密Sb2S3薄膜上的空穴传输层、以及沉积于空穴传输层上的电池阴极层。
7.根据权利要求6所述的一种基于致密Sb2S3薄膜的太阳电池,其特征在于:所述致密Sb2S3薄膜按照权利要求1~5中任意一项所述的制备方法制得。
8.根据权利要求6所述的一种基于致密Sb2S3薄膜的太阳电池,其特征在于:所述的光阳极层为FTO层;所述的电子传输层为TiO2薄膜;所述的空穴传输层为Spiro-OMeTAD薄膜;所述的电池阴极层为Au薄膜。
9.根据权利要求8所述的一种基于致密Sb2S3薄膜的太阳电池,其特征在于:所述FTO层的厚度为300-400nm;所述TiO2薄膜的厚度为40-90nm;所述致密Sb2S3薄膜的厚度为80-120nm;所述Spiro-OMeTAD薄膜的厚度为40-90nm,所述Au薄膜的厚度为60-100nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院合肥物质科学研究院,未经中国科学院合肥物质科学研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110061792.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
- 一种Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>复相热障涂层材料
- 无铅[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>纳米管及其制备方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一种Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 复合膜及其制备方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 荧光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一种(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制备方法
- 荧光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>复合材料的制备方法