[发明专利]流量测量装置

说明书

在流量测量装置中，提供一种在流体的流量的测量中具备高灵敏度的小型、简单的新型流量计。对于具备供流体流通的主流路和从主流路分流且再次与主流路合流而使测量用的流体流通的支流路的流量测量装置来说，在支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与高流量用流路相比流路截面积大且配置有对与高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路这两个流路并列地设置。

技术领域

本发明涉及流量测量装置。

背景技术

以往，提出了一种分流式流量计，具备：主流路；支流路，其经由一对分流孔与主流路连通；流动传感器，其用于检测在分流路中流动的流体的流量；分流比设定部件，其配置于支流路，用于设定由流量传感器检测的流体的流量与在主流路中流动的流体的流量的分流比；计算电路，其基于由流动传感器检测到的流量和分流比，计算在主流路中流动的流体的流量(例如，专利文献1)。

并且，也提出了一种具有形成了大流量测量用流路和与大流量测量用流路的下游侧串行设置并且与大流量测量用流路相比截面积小的小流量测量用流路的配管，在大流量测量用流路和小流量测量用流路分别设有多个流量传感器，在小流量域基于小流量测量用流路上的流速传感器的输出、在大流量域基于大流量测量用流路上的流速传感器的输出来计算流量的流量计(例如，专利文献2)。

专利文献1：日本特开2010-151785号公报

专利文献2：日本特开平09-068448号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在上述流量计中，要求具备小型且简单的系统、以及能够测量从高流量的流体至低流量的流体的大范围内的流量。

为使系统小型化和简单化，已知一种将具备主流路和从主流路分流且再次与主流路合流的支流路的旁路构造应用于流量计的技术。

但是，在测定高流量的流体的情况下，特别是在热式的流量传感器中，存在流量与传感器输出的线性关系变差的情况，在测定低流量的流体的情况下，如果将旁路构造应用于流量计，则存在压力损失变小，难以相对于支流路分流，并且不能确保灵敏度的情况。

因此，期望将支流路进一步分流的、高流量用流路和与高流量用流路流路相比截面积大的低流量用流路并列的结构应用于流量计。其目的在于通过使高流量域和低流量域分别具有专用的流路而实现一种测量范围大的流量计。

并且，在本发明中，其最终目的在于提供一种在实现系统的小型化、简单化以及大范围的流体的流量的测量的基础上，通过在支流路中使用气体种类测量用流路来确定流体的种类，从而所确定流体的热传导率的物性值和流量具有良好的相关性的三芯片流量测量装置。

在这里，本发明中的流量计可以是在支流路中包含配置于高流量用流路的高流量测量芯片、配置于低流量用流路的低流量测量芯片以及配置于气体种类测量用流路的气体种类测量用芯片这三种测量芯片的三芯片流量测量装置。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的一种流量测量装置具备供流体流通的主流路和从所述主流路分流并且与所述主流路再次合流而使测量用的流体流通的支流路，其特征在于，

在所述支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与所述高流量用流路相比流路截面积大且配置有与所述高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路并列地形成。

根据本发明，通过在一个装置中形成主流路和支流路这两个流路，能够使系统小型化和简单化，并且，在支流路中，分别使高流量域和低流量域具有专用的流路，因而能够实现测量范围大的流量测量装置。