[发明专利]材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置

说明书

本发明提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，获取材料样品表面上预设数量的标记，并将所述标记作为参考点；获取参考点在样品台坐标系的坐标为第一坐标集U；获取参考点在设备坐标系的坐标为第二坐标集X；基于所述第一坐标集U和第二坐标集X通过预设坐标系转换算法计算所述样品台坐标系和设备坐标系的转换关系；获取在样品台坐标系需要表征的第一表征点集，基于转换关系获取所述第一表征点集在设备坐标系的第二表征点集，基于所述第二表征点集在设备坐标系绘制表征点。本发明的一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，用于高通量薄膜实验样品在不同坐标系中位置的确定以及高通量表征点的生成。

技术领域

本发明涉及样品表征点技术领域，特别是涉及一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置。

背景技术

在材料科学的实验过程中，有时需要确定实验样品上同一点或一系列点在不同的系统中的精确坐标，而在高通量实验中，这一点尤为重要。以高通量组合材料芯片为例，单块薄膜样品上成分梯度变化，每一个点的成分均不相同，通过快速大量地对一系列成分点进行一种或多种表征来高效地完成实验研究，而由于没有相应的参考坐标系及坐标确定转换方法，样品在不同设备系统中无法精确定位，即不同系统之间无法保证表征同一点，同时无法方便的获知表征位置的设计成分空间坐标，以及不能快速生成所需要表征点的坐标，影响实验的精度和效率。

因此，希望能够解决如何准确地进行材料样品表征点确定的问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，用于解决现有技术中如何准确地进行材料样品表征点确定的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法，包括以下步骤：获取材料样品表面上预设数量的标记，并将所述标记作为参考点；获取所述参考点在样品台坐标系的坐标为第一坐标集U；获取所述参考点在设备坐标系的坐标为第二坐标集X；基于所述第一坐标集U和第二坐标集X通过预设坐标系转换算法计算所述样品台坐标系和设备坐标系的转换关系；获取在样品台坐标系需要表征的第一表征点集，基于转换关系获取所述第一表征点集在设备坐标系的第二表征点集，基于所述第二表征点集在设备坐标系绘制表征点。

为实现上述目的，本发明还提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成系统，包括：标记模块、第一获取模块、第二获取模块、转换模块和绘制模块；所述标记模块用于获取材料样品表面上预设数量的标记，并将所述标记作为参考点；所述第一获取模块用于获取所述参考点在样品台坐标系的坐标为第一坐标集U；所述第二获取模块用于获取所述参考点在设备坐标系的坐标为第二坐标集X；所述转换模块用于基于所述第一坐标集U和第二坐标集X通过预设坐标系转换算法计算所述样品台坐标系和设备坐标系的转换关系；所述绘制模块用于获取在样品台坐标系需要表征的第一表征点集，基于转换关系获取所述第一表征点集在设备坐标系的第二表征点集，基于所述第二表征点集在设备坐标系绘制表征点。

为实现上述目的，本发明还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现任一上述材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法。

为实现上述目的，本发明还提供一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成装置，包括：处理器和存储器；所述存储器用于存储计算机程序；所述处理器与所述存储器相连，用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述材料样品坐标系确定和转换及表征点生成装置执行任一上述的材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法。

如上所述，本发明的一种材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法、系统、装置，具有以下有益效果：用于高通量薄膜实验样品在不同坐标系中位置的确定以及高通量表征点的生成。

附图说明

图1a显示为本发明的材料样品坐标系确定和转换及表征点生成方法于一实施例中的流程图；