[发明专利]具有电子能量损失光谱检测器的透射带电粒子显微镜

权利要求书

1.一种透射带电粒子显微镜，包括：

-带电粒子束源，用于发射带电粒子束；

-样本固持器，用于固持样本；

-照射器，用于将从所述带电粒子束源发射的所述带电粒子束引导到所述样本上；

-投影系统，用于在第一放大率下形成所述样本的衍射图案且对所述衍射图案进行成像，其中所述投影系统至少包括最终投影仪透镜；

-电子能量损失光谱检测器；和

-控制单元，用于控制所述透射带电粒子显微镜的操作；

其特征在于，所述透射带电粒子显微镜布置成用于在至少两个模式下操作，所述至少两个模式大体上产生所述第一放大率，同时保持所述衍射图案大体上聚焦，其中所述至少两个模式包括：

-第一模式，具有所述最终投影仪透镜的第一设定；和

-第二模式，具有所述最终投影仪透镜的第二设定。

2.根据权利要求1所述的透射带电粒子显微镜，其中所述第一设定包括所述最终投影仪透镜大体上启用。

3.根据权利要求1或2所述的透射带电粒子显微镜，其中所述第一模式包括超高分辨率EELS模式。

4.根据权利要求1至3所述的透射带电粒子显微镜，其中所述第二设定包括所述最终投影仪透镜大体上停用。

5. 根据权利要求1至4所述的透射带电粒子显微镜，其中所述第二模式包括低HT EELS模式。

6.根据权利要求1至5所述的透射带电粒子显微镜，其中所述投影系统包括用于在后焦面处形成所述样本的衍射图案的物镜。

7. 根据权利要求1至6所述的透射带电粒子显微镜，其中所述第一放大率对应于所述投影系统的大约100 mm或更小的有效焦距。

8.根据权利要求1至7所述的透射带电粒子显微镜，其中所述投影系统布置成用于使所述衍射图案在衍射图案入口孔径处聚焦。

9.根据权利要求1至8所述的透射带电粒子显微镜，其中所述投影系统包括第一投影透镜。

10.一种根据前述权利要求中的任一项来操作透射电子显微镜的方法，包括以下步骤：

-提供样本；

-在所述样本上在所述第一模式下操作所述透射电子显微镜；

-通过将所述投影仪系统设定从所述第一设定改变到所述第二设定使所述透射电子显微镜进入所述第二模式；和

-在所述相同样本上在所述第二模式下操作所述透射电子显微镜。

11. 根据权利要求10所述的方法，其中所述方法包括：

-在所述第一模式下记录所述样本的第一EELS光谱；和

-在所述第二模式下记录所述样本的第二EELS光谱。

12.根据权利要求10或11所述的方法，其中所述方法包括将所述最终投影仪透镜从基本上“开启”切换到基本上“关闭”的步骤。