[发明专利]一种晶圆冲洗甩干机及清洗甩干方法

权利要求书

1.一种晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述功能模块包括腔体(1)、腔门(2)；所述腔体(1)和腔门(2)相对设置，所述腔体(1)的表面设置有伺服电机(3)、喷水装置(4)、加热装置(5)、静电消除器(6)、电磁阀(7)；

所述腔体(1)内设置有转子(11)，所述转子(11)内设置有晶圆盒(12)，所述伺服电机的输出轴连接所述转子(11)；

所述喷水装置(4)包括喷水口(41)、PFA接头(42)、第一气动阀(43)、水管、所述喷水口(41)、PFA接头(42)、第一气动阀(43)、水管依次连接，所述喷水口(41)设置在所述腔体(1)表面并伸入所述腔体(1)；

所述加热装置(5)的端部设置有过滤器(51)和第二气动阀(52)，所述加热装置(5)和所述腔体(1)的结合部位设置有氮气喷口(53)。

2.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述伺服电机(3)通过电机安装板(31)和所述腔体(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述电磁阀(7)通过电磁阀安装座(71)和所述腔体(1)固定连接，所述电磁阀安装座上设置有电气接口(72)。

4.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述功能模块还包括进气系统(8)，所述进气系统(8)包括第一进气管道和第二进气管道，所述第一进气管道上设置有压力传感器(81)；所述第二进气管道上设置有第三气动阀(82)，所述第三气动阀(82)和所述腔体(1)相连，所述第三气动阀(82)下方设置有分气块(83)，所述分气块(83)的一侧设置有压力传感器(81)。

5.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述功能模块还包括真空组件(9)，所述真空组件(9)包括真空泵(91)和第四气动阀(92)，所述真空泵(91)通过气体管路连接所述腔体(1)的内部，所述第四气动阀(92)设置在所述真空泵(91)和所述腔体(1)的中间位置。

6.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述腔门(2)和所述腔体(1)活动连接，所述腔门(2)内部设置有密封组件(21)，所述密封组件(21)包括安装块(211)、旋转快插接头(212)、密封圈(213)，所述安装块和所述腔门(2)固定连接，所述旋转快插接头(212)和所述安装块(211)固定连接，所述安装块(211)内部设置有通气孔道(2111)，所述通气孔道(2111)连接所述旋转快插接头(212)和所述密封圈(213)。

7.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述腔体(1)内设置有取料机构(13)，所述取料机构(13)包括推出机构(131)和/或拉出机构(132)；所述推出机构(131)或所述转子(11)相接，设置在相对于所述转子(11)，与所述伺服电机(4)相同的一侧；所述拉出机构(132)和所述转子相接，设置在相对于所述转子(11)，与所述腔门(2)相同的一侧。

8.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述结构组件包括底座(101)、外壳(102)、支架。

9.根据权利要求1所述的晶圆冲洗甩干机，包括至少一个功能模块和结构组件，其特征在于，所述功能模块采用PLC控制。

10.一种基于权利要求1～9任一项所述的晶圆冲洗甩干机的晶圆清洗甩干方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：冲洗：所述伺服电机(3)在一定转速下转动，同时所述喷水装置(4)喷淋DIW液体冲洗，得到冲洗待甩干的晶圆片；

S2：电阻率监控：对冲洗后的回流水进行监控，并作为程序执行依据；

S3：吹净：所述伺服电机(3)在一定转速下转动，同时所述加热装置(5)向所述腔体(1)内通入氮气，将残留在冲洗管路内的DIW吹净，防止二次污染。

S4：对所述腔体(1)内进行两次烘干操作，第一次烘干去除晶圆片上的大水珠，第二次烘干完全烘干晶圆片和腔内的水汽，完成甩干。