[发明专利]一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置

权利要求书

1.一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的左右内壁上均设置安装有固定基座(2)，所述固定基座(2)之间设置安装有固定部件(3)，所述固定部件(3)的中心处设置安装有放置平台(4)，所述主体(1)的内壁上设置安装有驱动装置(5)，所述驱动装置(5)的左侧设置安装有驱动螺纹杆(6)，所述固定部件(3)的上侧设置安装有外齿条(7)，所述驱动螺纹杆(6)与外齿条(7)通过螺纹啮合连接。

2.如权利要求1所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述固定部件(3)的内壁上设置安装有活动连杆(8)，所述活动连杆(8)的轴端设置有活动件(9)，所述活动件(9)的外侧设置安装有活动部件(10)，所述活动部件(10)的外侧固定安装有固定装置(11)。

3.如权利要求2所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述固定装置(11)的内部开设有凹槽，且凹槽的内部设置安装有缓冲弹簧(12)，所述缓冲弹簧(12)的下端固定连接有连接杆(13)，所述连接杆(13)的下端固定安装有固定板(14)，所述固定板(14)的外侧设置有防护层(15)。

4.如权利要求3所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述固定部件(3)的内壁上设置安装有壳体(16)，所述壳体(16)的内壁底部固定安装有安装基座(17)，所述安装基座(17)的上侧设置安装有驱动机构(18)，所述驱动机构(18)的上侧设置安装有活动伸缩杆(19)。

5.如权利要求4所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述壳体(16)的内壁上设置安装有稳定连杆(20)，所述稳定连杆(20)的轴端与活动伸缩杆(19)相配合安装。

6.如权利要求5所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述活动伸缩杆(19)的上端设置安装有抛光装置(21)，所述抛光装置(21)的中心轴设置有活动轴承(22)，所述活动轴承(22)与活动伸缩杆(19)相配合安装。

7.如权利要求6所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述抛光装置(21)的内部设置安装有缓冲气囊(23)，所述缓冲气囊(23)的外侧设置连接有支撑架(24)，所述支撑架(24)的轴端固定安装有安装架(25)，所述安装架(25)上活动安装有抛光机构(26)。

8.如权利要求7所述一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，其特征在于：所述抛光机构(26)的外侧设置安装有抛光头(27)，所述抛光头(27)的内部设置有内腔(28)，所述内腔(28)中设置有非牛顿流体。