[发明专利]一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置

说明书

本发明提供一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，包括主体，所述主体的左右内壁上均设置安装有固定基座，所述固定基座之间设置安装有固定部件，所述固定部件的中心处设置安装有放置平台，所述主体的内壁上设置安装有驱动装置，所述驱动装置的左侧设置安装有驱动螺纹杆，所述固定部件的上侧设置安装有外齿条。该用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，通过外部驱动促使驱动机构产生动能，进而利用抛光机构对半导体材料进行抛光处理，同时基于在压力的作用下，使的抛光头内部的内腔中的非牛顿流体变硬，进而使非牛顿流体适应该半导体材料的规格，进一步提升半导体材料的抛光效果，同时提高了该装置的使用效率。

技术领域

本发明属于半导体材料技术领域，尤其涉及一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置。

背景技术

随着科技的不断进步，在科技发展的过程中出现了一种广泛应用的材料-半导体，半导体是指在常温状态下的导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体无论从科技或者是从经济发展的角度来看，它的重要性都是非常的巨大，半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。

半导体材料是一类具有半导体性能，其导电能力介于导体与绝缘体之间，可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，随着电子行业的不断发展，对于集成电路板以及半导体器件的需求量也逐渐增多，因此，半导体材料的加工也逐渐增多，目前，在对半导体材料的加工过程中，通常需要对其进行抛光处理，但是传统的抛光装置抛光效果较差，且传统的装置在加工的过程中，由于装置对半导体材料的夹紧效果较差，从而容易导致装置上的半导体材料出现偏移现象的发生，进而降低了装置的实用性，故不能满足厂家的使用需求，因此，有必要进一步改进。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，由以下具体技术手段所达成：

一种用于提高抛光效率的半导体材料抛光装置，包括主体，所述主体的左右内壁上均设置安装有固定基座，所述固定基座之间设置安装有固定部件，所述固定部件的中心处设置安装有放置平台，所述主体的内壁上设置安装有驱动装置，所述驱动装置的左侧设置安装有驱动螺纹杆，所述固定部件的上侧设置安装有外齿条，所述驱动螺纹杆与外齿条通过螺纹啮合连接。

进一步的，所述固定部件的内壁上设置安装有活动连杆，所述活动连杆的轴端设置有活动件，所述活动件的外侧设置安装有活动部件，所述活动部件的外侧固定安装有固定装置，通过啮合连接外齿条带动固定部件开始转动，进而使得活动件在活动部件中有效滑动，从而带动固定装置向内部移动。

进一步的，所述固定装置的内部开设有凹槽，且凹槽的内部设置安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的下端固定连接有连接杆，所述连接杆的下端固定安装有固定板，所述固定板的外侧设置有防护层，利用固定板与半导体材料相接触，从而将其牢牢夹紧住，避免了半导体材料在加工的过程中出现松动产生偏移，进而提升了该装置的实用性。

进一步的，所述固定部件的内壁上设置安装有壳体，所述壳体的内壁底部固定安装有安装基座，所述安装基座的上侧设置安装有驱动机构，所述驱动机构的上侧设置安装有活动伸缩杆。

进一步的，所述壳体的内壁上设置安装有稳定连杆，所述稳定连杆的轴端与活动伸缩杆相配合安装，通过设置稳定连杆有效地保证了活动伸缩杆的稳定性。

进一步的，所述活动伸缩杆的上端设置安装有抛光装置，所述抛光装置的中心轴设置有活动轴承，所述活动轴承与活动伸缩杆相配合安装。

进一步的，所述抛光装置的内部设置安装有缓冲气囊，所述缓冲气囊的外侧设置连接有支撑架，所述支撑架的轴端固定安装有安装架，所述安装架上活动安装有抛光机构。