[发明专利]微机械的传感器组件、使用微机械的传感器组件的方法

权利要求书

1.一种微机械的传感器组件(1)、尤其是加速度传感器，其具有带有主延伸平面(100)的基底(2)，其中，所述传感器组件(1)包括第一质量(10)和第二质量(20)，其中，所述第一质量和第二质量(10,20)分别至少部分可运动地沿相对于所述基底(2)的主延伸平面(100)垂直的垂直方向(110)构造，其中，所述第一质量(10)具有止挡结构(11)，其特征在于，所述止挡结构(11)沿所述垂直方向(110)具有与所述第二质量(20)的重叠。

2.根据权利要求1所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述止挡结构(11)与所述第二质量(20)沿所述垂直方向(110)的重叠通过以下方式形成：所述止挡结构(11)沿所述垂直方向(110)至少部分地布置在所述第二质量(20)和所述基底(2)之间。

3.根据前述权利要求中任一项所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述第二质量(20)具有另一止挡结构(21)，其中，所述另一止挡结构(21)沿所述垂直方向(110)具有与所述第一质量(10)的另一重叠。

4.根据权利要求3所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述另一止挡结构(21)与所述第一质量(10)沿所述垂直方向(110)的另一重叠通过以下方式形成：所述另一止挡结构(21)沿所述垂直方向(110)至少部分地布置在所述第一质量(10)和所述基底(2)之间。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述传感器组件(1)构造为，使得在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述止挡结构(11)和所述第二质量(20)之间形成接触，其中，所述传感器组件(1)优选构造为，使得在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述另一止挡结构(21)和所述第一质量(10)之间形成接触。

6.根据前述权利要求中任一项所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述止挡结构(11)弹簧弹性地构造，其中，所述另一止挡结构(21)优选弹簧弹性地构造。

7.根据前述权利要求中任一项所述的微机械的传感器组件(1)，其特征在于，所述第二质量(20)具有接触元件、尤其是突出部，其中，所述接触元件布置为，使得在所述传感器组件(1)的过载情况下和/或在过载情况之后，通过所述接触元件和所述止挡结构(11)产生所述第一质量(10)与所述第二质量(20)之间的接触，其中优选地，所述第一质量(10)具有另一接触元件(70)、尤其是另一突出部，其中，所述另一接触元件(70)布置成，使得在所述传感器组件(1)的过载情况下和/或在过载情况之后，通过所述另一接触元件(70)和所述另一止挡结构(21)产生所述第一质量(10)与所述第二质量(20)之间的接触。

8.一种使用根据前述权利要求中任一项所述的微机械的传感器组件(1)用于对测量参量进行测量的方法、尤其是使用加速度传感器用于测量加速度的方法。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述止挡结构(11)和所述第二质量(20)之间形成接触，其中优选地，在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述另一止挡结构(21)和所述第一质量(10)之间形成接触。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述第二质量(20)和/或所述第一质量(10)与所述传感器组件(1)的另一结构接触之前，在所述止挡结构(11)和所述第二质量(20)之间形成接触，其中优选地，在所述传感器组件(1)的过载情况下，在所述第一质量(10)和/或所述第二质量(20)与所述传感器组件(1)的另一结构接触之前，在所述另一止挡结构(21)和所述第一质量(10)之间形成接触。