[发明专利]一种碳材料的表面刻蚀方法有效
| 申请号： | 202110526300.3 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113429224B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 庞敏;曾甯;周晓妍;赵庆凯;桑培伦;王绪;李顺 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;G21F9/28 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 吕玲 |
| 地址： | 621700 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 材料 表面 刻蚀 方法 | ||
1.一种碳材料的表面刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：
a.将刻蚀剂喷涂在碳材料的表面，在碳材料的表面形成具有一定厚度的刻蚀剂涂层；刻蚀剂涂层厚度为250-450nm ；刻蚀剂为金属钼、金属钨、金属钛、金属钽和金属铌中的任意一种；所述的碳材料为石墨、碳纳米管、碳纤维或活性炭；刻蚀剂的喷涂方法为磁控溅射法，等离子喷涂法或原子沉积法；
b.将喷涂后的碳材料置于加热炉中，先在流动的含氢气体中以5℃/分钟的速率升温至600℃-650℃，恒温0.5-2h；随后在流动的氩气中以1-5 ℃/分钟的速率升温至500-1000℃并维持该温度6-24小时；
c.将热处理后的碳材料用水性氧化剂处理，完成对表面碳层的刻蚀；所述的水性氧化剂为过氧化氢水溶液、持续曝入臭氧的碱金属盐或持续曝入臭氧的无机酸水溶液。
2.一种碳材料的表面刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：
将刻蚀剂喷涂在碳材料的表面，在碳材料的表面形成具有一定厚度的刻蚀剂涂层，刻蚀剂涂层厚度为400±50nm ；刻蚀剂为金属钼；所述的碳材料为石墨；刻蚀剂的喷涂方法为磁控溅射法；
b.将喷涂后的碳材料置于加热炉中，在流动的氩气中以5 ℃/分钟的速率升温至900℃，恒温6小时；
c.将热处理后的碳材料用水性氧化剂处理，完成对表面碳层的刻蚀；所述的水性氧化剂为过氧化氢水溶液。
3.如权利要求1所述碳材料的表面刻蚀方法，其特征在于：所述的无机酸为盐酸、硝酸、硫酸、高氯酸或磷酸中的任意一种或几种的混合物。
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