[发明专利]传送路径校正技术和相关系统、方法和装置

权利要求书

1.一种制造电子产品的层的方法，包含：

利用打印机将材料沉积到基底上；

利用传送系统在材料沉积期间传送基底；

其中，打印机或传送系统中的至少一个具有使物体沿着以平移或旋转误差中的至少一个为特征的传送路径而行进的部件；和

根据所述平移或旋转误差，在材料沉积期间沿着与传送路径垂直的方向移动基底。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，传送系统包含：浮动台，以将基底支撑在气体轴承上；和夹具，以可操作地接合基底。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，音圈，线性马达或压电换能器中的一个被用于根据所述平移或旋转误差来使基底移动。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：

部件是用于使基底沿着传送路径行进的夹具；

传送系统为第一传送系统，部件为第一部件，和平移或旋转误差为第一误差；

该方法还包含使用第二传送系统沿着打印头路径传送打印头，该打印头路径的特征在于第二误差，该第二误差是平移或旋转误差中的至少一个误差；和

该方法还包含根据所述第二误差函数来移动打印头。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述打印头路径与所述传送路径垂直，并且其中，所述打印头沿着打印头路径在第一传送系统的连续扫描之间被重新定位。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，第一传送系统还包含气体轴承和真空夹具，以可操作地接合基底，第二传送系统包含气体轴承，并且其中，音圈用于基于第一误差移动基底。

7.根据权利要求1所述的方法，其中：

部件是用于使基底沿着传送路径行进的夹具；

传送系统为第一传送系统，部件为第一部件，和平移或旋转误差为第一误差；

该方法进一步包含使用第二传送系统沿着相机路径传送相机，该相机路径的特征在于第二误差，该第二误差是平移误差或旋转误差中的至少一个误差；以及

第二传送系统包含沿着相机路径行进的第二部件；和

该方法还包含根据所述第二误差函数，来定位可操作地联接第二部件和相机的至少一个换能器。

8.根据权利要求1所述的方法，其中：

打印机是喷墨打印机；

使得材料沉积包含在受控环境内操作喷墨打印机；和

传送系统还包含使用浮动台将基底支撑在气体轴承上，并且所述方法还包含将基底与夹具接合，并且在由气体轴承支撑的同时沿着传送路径传送基底。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，每个换能器使基底在与传送路径垂直的方向上线性地位移。

10.一种设备，包含：

支撑台；

桥体，其支撑打印头，所述打印头用于在由支撑台支撑的基底上进行打印；和

基底夹持器，其邻近支撑台，所述基底夹具包含：

沿轨道行驶的第一部件；

与基底接合的第二部件；和

至少一个换能器，所述换能器设置成在与轨道垂直的方向上使第二部件相对于第一部件偏移。

11.根据权利要求10所述的设备，其中，所述支撑台包含气体轴承。

12.根据权利要求10所述的设备，其中，所述基底夹具还包含将第一部件联接到第二部件的浮动枢转组件。

13.根据权利要求10所述的设备，其中，所述基底夹具包含至少两个换能器，每个换能器被设置为在与所述轨道垂直的方向上使第二部件的相应部分相对于第一部件偏移。

14.根据权利要求10所述的设备，还包含对齐检测器，其用于检测所述基底夹具的位置误差，所述位置误差是平移误差，旋转误差或两者。