[发明专利]半导体装置的制造方法以及半导体装置在审

专利信息
申请号: 202110590681.1 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113764287A 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 横山脩平;柴田祥吾;中村宏之 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/60;H01L23/495;H01L25/16
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 何立波;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 制造 方法 以及
【说明书】:

本发明涉及半导体装置的制造方法以及半导体装置。本说明书所公开的技术是用于确保端子间的空间距离以及沿面距离,并且抑制半导体装置大型化的技术。与本说明书所公开的技术相关的半导体装置的制造方法是,设置至少1个半导体元件,向半导体元件连接多个第1端子和至少1个第2端子,该第2端子是被施加比第1端子低的电压的控制用端子,在第1端子形成第1弯折部,就相邻的多个第1端子而言,在彼此相对的面,第1弯折部不凸出。

技术领域

本说明书所公开的技术涉及半导体装置的制造方法以及半导体装置。

背景技术

例如,就专利文献1所公开的半导体装置而言,与半导体元件连接的多个引线端子被向外部引出,彼此分离地配置。

专利文献1:日本特开平10-189859号公报

特别地,在将半导体装置用于大功率用途的情况下,为了确保空间距离以及沿面距离,需要将引线端子间的距离(端子间距)设定得长。另一方面,在对引线端子进行加工的过程中,有时引线端子的弯折部位(弯折部)膨胀,使得引线端子间的距离变短。

如果考虑上述情况而增大端子间距,则存在半导体装置过度大型化的问题。

发明内容

本说明书所公开的技术就是鉴于以上所记载的问题而提出的,是用于确保端子间的空间距离以及沿面距离,并且抑制半导体装置大型化的技术。

本说明书所公开的技术的第1方式涉及半导体装置的制造方法,设置至少1个半导体元件,向所述半导体元件连接多个第1端子和至少1个第2端子,该第2端子是被施加比所述第1端子低的电压的控制用端子,在所述第1端子形成第1弯折部,就相邻的所述多个第1端子而言,在彼此相对的面,所述第1弯折部不凸出。

本说明书所公开的技术的第2方式涉及半导体装置,该半导体装置具有:至少1个半导体元件;以及多个端子,它们与所述半导体元件连接,所述多个端子具有:多个第1端子,它们具有第1弯折部;以及至少1个第2端子,其是被施加比所述第1端子低的电压的控制用端子,就相邻的所述多个第1端子而言,在彼此相对的面,所述第1弯折部不凸出。

发明的效果

本说明书所公开的技术的第1方式涉及半导体装置的制造方法,设置至少1个半导体元件,向所述半导体元件连接多个第1端子和至少1个第2端子,该第2端子是被施加比所述第1端子低的电压的控制用端子,在所述第1端子形成第1弯折部,就相邻的所述多个第1端子而言,在彼此相对的面,所述第1弯折部不凸出。根据这样的结构,在被施加高电压的端子间的相对的面,弯折部不凸出,从而引线端子间的空间距离以及沿面距离不变短。因此,能够减小半导体装置的尺寸。

本说明书所公开的技术的第2方式涉及半导体装置,该半导体装置具有:至少1个半导体元件;以及多个端子,它们与所述半导体元件连接,所述多个端子具有:多个第1端子,它们具有第1弯折部;以及至少1个第2端子,其是被施加比所述第1端子低的电压的控制用端子,就相邻的所述多个第1端子而言,在彼此相对的面,所述第1弯折部不凸出。根据这样的结构,在被施加高电压的端子间的相对的面,弯折部不凸出,从而引线端子间的空间距离以及沿面距离不变短。因此,能够减小半导体装置的尺寸。

另外,与本说明书所公开的技术相关的目的、特征、方案、优点通过以下所示的详细说明和附图变得更清楚。

附图说明

图1是概略地表示实施方式涉及的半导体装置的结构的例子的俯视图。

图2是概略地表示实施方式涉及的半导体装置的结构的例子的剖面图。

图3是与图1以及图2所例示的结构对应的电路图。

图4是图3所示的结构中的主要与高压IC以及低压IC相关的电路图。

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