[发明专利]表面形状测定机

权利要求书

1.一种表面形状测定机，其对被测定面的表面形状进行测定，其中，

所述表面形状测定机具备：

检测器，所述检测器具备：测头，其被支承为以摆动支点为中心摆动自如；触针，其设置于所述测头的前端部且向相对于所述测头的长度方向垂直或者倾斜的一方向侧延伸；滑动件，其设置于从所述测头的前端部向所述一方向侧分离的位置；及施力构件，其向以所述摆动支点为中心的旋转方向中的、所述触针向所述一方向侧旋转的第一旋转方向对所述测头施力，而使所述触针的前端比所述滑动件向所述一方向侧突出；

第一弹性支承构件，其将所述检测器支承为向所述第一旋转方向及与所述第一旋转方向相反的一侧的第二旋转方向摆动自如；

驱动部，其使所述第一弹性支承构件沿着与所述摆动支点的轴向垂直且与所述被测定面平行的驱动方向移动；

直线状的检测器引导件，其将由所述驱动部借助所述第一弹性支承构件而驱动的所述检测器支承为沿着所述被测定面移动自如；以及

引导件支承构件，其具有与所述被测定面接触的一个或者多个第一接触点，并对所述检测器引导件进行支承。

2.根据权利要求1所述的表面形状测定机，其中，

在所述测头克服所述施力构件的作用力而从预定的基准旋转位置向所述第二旋转方向旋转的情况下，所述触针的前端比所述滑动件向所述一方向侧突出直至所述测头的所述第二旋转方向上的旋转角度达到一定角度为止。

3.根据权利要求2所述的表面形状测定机，其中，

在所述测头的所述第二旋转方向上的旋转角度达到所述一定角度并进一步对所述滑动件施加所述一方向侧的相反方向侧的力的情况下，所述检测器以所述第一弹性支承构件为基准向所述第二旋转方向旋转。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的表面形状测定机，其中，

所述表面形状测定机具备：

壳体，其收纳所述检测器的一部分、所述第一弹性支承构件及所述驱动部，并具有相对于所述驱动方向垂直的壳体壁面、及形成于所述壳体壁面且供所述检测器贯穿的检测器插通孔；以及

第二弹性支承构件，其设置于所述壳体，且将所述检测器引导件支承为向所述第一旋转方向和所述第二旋转方向摆动自如。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的表面形状测定机，其中，

所述引导件支承构件在三个第一接触点与所述被测定面接触。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的表面形状测定机，其中，

所述滑动件具有供所述触针贯穿的触针插通孔。