[发明专利]表面形状测定机

说明书

提供能够同时对被测定面的表面粗糙度以及被测定面的表面粗糙度以外的表面形状进行测定且能够防止触针的破损的表面形状测定机。具备：检测器；第一弹性支承构件，其将检测器支承为向第一旋转方向及与第一旋转方向相反的一侧的第二旋转方向摆动自如；驱动部，其使第一弹性支承构件沿着与摆动支点的轴向垂直且与被测定面平行的驱动方向移动；直线状的检测器引导件，其将由驱动部借助第一弹性支承构件而驱动的检测器支承为沿着被测定面移动自如；引导件支承构件，其具有与被测定面接触的一个或者多个第一接触点，并对检测器引导件进行支承。

本申请是申请号为2018800881335、申请日为2018年11月2日、发明名称为表面形状测定机的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及对被测定面的表面形状进行测定的表面形状测定机。

背景技术

已知有对工件的被测定面的表面形状进行测定的表面形状测定机。该表面形状测定机具备：检测器，其具有以摆动支点为支点摆动自如地安装的测头及在该测头的前端设置的触针等；以及驱动部，其使该检测器沿着被测定面移动。表面形状测定机在使检测器的触针与被测定面接触的状态下，利用驱动部使检测器与工件在水平方向上相对移动，从而一边用触针扫描被测定面一边对测头(触针)的位移进行检测。基于该位移检测结果而得到被测定面的表面形状。

作为这样的表面形状测定机，众所周知有在使安装于检测器的滑动件(Skid)与被测定面接触的状态下利用触针扫描被测定面的便携式的类型(滑动件测定类型)的测定机(参照专利文献1)。在该便携式的表面形状测定机中，通过对测头相对于滑动件的位移进行检测，能够对被测定面的表面粗糙度进行测定来作为被测定面的表面形状。

另外，在专利文献1所记载的表面形状测定机中，相对于检测器装卸自如地安装有滑动件，能够选择在安装有滑动件的状态下利用触针扫描被测定面的滑动件测定、以及在卸下了滑动件的状态下利用触针扫描被测定面的无滑动件(Skidless)测定。因此，在专利文献1所记载的表面形状测定机中，通过进行无滑动件测定，能够对被测定面(台阶等)的形状以及被测定面的起伏等进行测定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-133247号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在便携式(滑动件测定类型)的表面形状测定机中，能够对表面粗糙度进行测定来作为被测定面的表面形状，但不能对表面粗糙度以外的被测定面的表面形状例如被测定面(台阶等)的形状以及被测定面的起伏等进行测定。因此，在对表面粗糙度以外的被测定面的表面形状进行测定的情况下，需要用保证直线度的上一级机种的表面形状测定机进行测定。

另外，在专利文献1所记载的表面形状测定机中，虽然滑动件测定与无滑动件测定能够切换，但是当在无滑动件测定中测定台阶等形状时，根据台阶等的大小，有可能使触针钩挂于该台阶而破损。

本发明是鉴于这样的情形而完成的，其目的在于，提供能够同时对被测定面的表面粗糙度、以及被测定面的表面粗糙度以外的表面形状进行测定且能够防止触针的破损的表面形状测定机。

用于解决课题的方案