[发明专利]一种直拉单晶装料方法在审
| 申请号： | 202110709832.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113430645A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 郑伟扬 | 申请（专利权）人： | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/02 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 徐芝强;肖明芳 |
| 地址： | 755099 宁*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶 装料 方法 | ||
1.一种直拉单晶装料方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：在石英坩埚底部先装填小料，形成80-120mm厚度的小料底层(1)；
S2：在小料底层(1)上部，依次堆叠大料，并每堆叠一层大料时，再用小料填充大料的间隙，直至填充至坩埚高度的2/3，形成大小料复合层(2)；
S3：在大小料复合层(2)的上方外围，紧贴坩埚内壁铺设大料，形成大料围合层(3)，同时在大料围合层(3)中间填充小料，形成小料填充层(4)，直至距离石英坩埚顶部50-60mm；
S4：在大料围合层(3)和小料填充层(4)上部平铺两层以上的片状原料，形成片状料覆盖层(5)。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，所述的小料为不规则形状，线性直径≤40mm。
3.根据权利要求1所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，所述的大料为不规则形状，线性直径在40-80mm。
4.根据权利要求1所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，所述的大料和小料的线性直径比控制3:2。
5.根据权利要求1所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，步骤S2中，所述的大小料复合层(2)的外围与坩埚内壁接触处，均采用大料紧贴坩埚内壁堆叠。
6.根据权利要求1所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，步骤S4中，所述的片状原料为圆形片状料或者正方形片状料；圆形片状料直径在200-300mm之间，厚度2-5mm；方形片状料边长在150-210mm之间，厚度2-5mm。
7.根据权利要求6所述的直拉单晶装料方法，其特征在于，步骤S4中，片状原料平铺时，上一层片状原料覆盖在下一层片状原料的缝隙上，并通过两层以上的片状原料完全覆盖石英坩埚的顶部开口。
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