[发明专利]一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜

权利要求书

1.一种含水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜组合主要含：水溶性丙烯酸树脂、光聚合化合物、光起始剂及其它助剂。

2.如权利要求1的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜组成物，其特征在于该（1）水溶性丙烯酸由以下单体通过聚合或共聚合得到，所用单体包括：2-乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯及丙烯酸异辛酯等。

3.如权利要求1的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜组成物，其特征在于（2）光聚合化合物为聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酯和聚二(甲基 )丙烯酸烷撑二醇酯中的任一种或两种或三种的组合。

4.如权利要求1的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜的组成物，其特征在于（3）光起始剂为六芳基二咪唑类化合物和多官能硫醇化合物，其中六芳基二咪唑类化合物和多官能硫醇化合物，其摩尔比为2:1。

5.如权利要求4的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜组成物，其特征在于（3）光起始剂中的六芳基二咪唑类化合物含六芳基二咪唑类化合物可以是2-(o-氯苯基 )-4，5-二苯基咪唑二聚体、2，2-双(2，6-二氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(p-甲氧基苯基)-4，5- 二苯基咪唑二聚体和2，4，5- 三芳基咪唑二聚体、2，2’-双 (o- 溴苯基 )-4，4’，5，5’-四(p- 碘苯基 ) 二咪唑;

多官能硫醇化合物含有：1，4- 二甲基巯基苯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代甘醇酸酯、丁二醇二硫代丙酸酯、癸二硫醇及季戊四醇四硫代丙酸酯。

6.如权利要求1的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜组成物，其特征在于（4）其它助剂有稀释剂、也有增塑剂、还可以加入隐色染料或着色物质、抗氧化剂、热聚合抑制剂、消泡剂和阻燃剂等。

7.如权利要求1所述的水溶性丙烯酸酯树脂的光致抗蚀剂干膜，用于激光扫描曝光。