[发明专利]一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜

说明书

本发明制备了一种含水溶性丙烯酸酯感光树脂及其光致抗蚀剂干膜，该抗蚀剂干膜主要含（1）水溶性丙烯酸树脂、（2）光聚合化合物、（3）光起始剂及（4）其它助剂等原料。其可作为光阻涂料用于干膜光阻，并最终应用于印刷电路板等电子元器件的生产。其中水溶性丙烯酸酯由一定比例的2‑乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯甲基、丙烯酸仲丁酯及丙烯酸异辛酯等合成而得。该光致抗蚀剂干膜的分辨率、附着力性能及线路尺寸稳定性优良，在印刷电路及其他电子元器件上具有广阔的应用前景。

技术领域

本发明涉及一种感光树脂组合物及采用它的光致抗蚀剂干膜，尤其涉及一种解析度优异、同时具有水溶性的感光树脂的复合物及采用它的光致抗蚀剂干膜。

背景技术

随着科技的高速发展和环保知识的普及，人们环保意识的大大增强。溶剂型光致抗蚀剂干膜在生产和使用过程中存在着大量的含卤素的有机溶剂，这些有机溶剂在生产和使用过程中，有机物容易持续挥发，造成VOCs排放问题；同时，有机溶剂在干膜的制备和脱膜过程中不会自行分解或反应，最终都会成为和液体废物，造成废水排放问题；最后，欧美日本等发达国家大力倡导无卤素，而有机溶剂中的大量卤素会使产品的环保等级大打折扣，会阻碍国产光致抗蚀剂干膜向高端产品市场进军。基于上述溶剂型光致抗蚀剂干膜所存在的问题，开发新型环保的光致抗蚀剂干膜已迫在眉睫。

基于此，本发明提出一种水溶性光致抗蚀剂干膜。该水溶性光致抗蚀剂干膜具有全水溶性、便于操作、对外界环境和工作人员危害性极低特点；同时，水溶性光致抗蚀剂干膜能很好的克服上述VOCs排放和污水排放问题问题；此外，水溶性光致抗蚀剂干膜不含卤素或卤素含量极低，有利于产品的高端化；并且水溶性丙烯酸酯具有原材料来源丰富、生产成本低、操作设备简单、性能易调节等优点。这些优点有利于国产干膜产品冲破西方国家技术壁垒，实现国产干膜的高端化。

发明内容

本发明提出一种水溶性光致抗蚀剂干膜，[005] 本发明以实验室自制水溶性丙烯酸树脂为成膜树脂，按照一定比例添加多种丙烯酸酯、光引发剂，以及其他各种添加剂，制备出水性丙烯酸酯类光致抗蚀剂干膜。该光致抗蚀剂干膜产品具有分辨率高、易显影、浮渣少等优点，有效开拓了水性光致抗蚀干膜的研究范围，为实现水溶性丙烯酸酯类光致抗蚀剂干膜的量产奠定了一定的基础。

具体实施案例

具体实施案例1

水溶性丙烯酸树脂的合成

本发明中，水溶性丙烯酸树脂由实验室自制。

本发明按照摩尔比1:1.05:1:1.10的比例将2-乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸仲丁酯溶解在一定量的丙酮中。

将上述混合物加热至回流温度后，滴加相应质量分数的2, 2´-偶氮双（异丁腈）丙酮溶液。

上述2, 2´-偶氮双（异丁腈）与2-乙基丙烯酸摩尔比为1.05:1。

2,2´-偶氮双（异丁腈）丙酮溶液滴加完毕后，回流反应 5.5 h。

随后再加入定量的其它引发剂。

该定量引发剂为过氧化苯甲酰。

上述定量过氧化苯甲酰与2-乙基丙烯酸的摩尔比为：0.35:1。

滴加完上述过氧化苯甲酰后，继续反应 2 h，冷却后即得丙烯酸树脂溶液。

光致抗蚀剂干膜的制备

本发明按照一定质量比依次加入（1）丙烯酸树脂、（2）光聚合化合物、（3）光起始剂及（4）其它助剂等原料。

上述光致抗蚀剂干膜各种原材料的质量占比依次为：丙烯酸树脂溶液（55%），光聚合化合物（30%），(3)光起始剂（1.5%）及其它助剂（13.5%）。