[发明专利]一种晶圆防护罩的制备方法有效
| 申请号： | 202110729744.7 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113369986B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q15/00 | 分类号： | B23Q15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防护罩 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆防护罩的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
将铝坯料铣削成环状，并进行预车削处理；
在200～250℃下进行热处理去除内部应力；
进行精密车削处理以及钻孔处理；在所述晶圆防护罩侧壁底部钻孔得到侧孔和/或腰型槽；
所述侧孔和/或腰型槽等间距全分布于所述晶圆防护罩侧壁底部；
对所述晶圆防护罩进行抛光处理；
清洗后对所述晶圆防护罩外壁进行喷砂处理以及熔射处理。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝坯料为铝方板。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热处理的时间为100～150min。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热处理后进行空冷。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述精密车削处理包括铣圆以及铣基准面。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抛光处理为全抛光。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抛光处理后的粗糙度Ra≤1.6μm。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述喷砂处理后的粗糙度为Ra8～13μm。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述熔射处理后的粗糙度为Ra25～35μm。
10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述熔射处理的厚度为250～350μm。
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