[发明专利]金属掩模的张网装置及其方法、张网设备在审
申请号: | 202110736545.9 | 申请日: | 2021-06-30 |
公开(公告)号: | CN115537717A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 黄元昊;魏柏林;周畅;徐兵 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 岳晓萍 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 装置 及其 方法 设备 | ||
1.一种金属掩模的张网装置,其特征在于,包括:多个夹持拉伸模块和与多个所述夹持拉伸模块一一对应设置的多个第一运动机构;
至少部分所述夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧;每个所述夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元;所述柔性单元设置于所述夹持单元与所述拉伸单元之间,且所述夹持单元、所述柔性单元和所述拉伸单元沿第一方向依次排列;所述拉伸单元设置于所述第一运动机构上;所述第一运动机构带动所述拉伸单元沿所述第一方向和/或第二方向运动,所述拉伸单元拉伸所述柔性单元,以使所述柔性单元发生形变,并带动所述夹持单元在所述第一方向和/或所述第二方向上发生位移;其中,所述第一方向与所述第二方向交叉;
所述夹持单元用于夹持并固定位于所述金属掩模张网区的金属掩模;
所述位移检测单元用于检测对应的所述拉伸单元的位移信息;
其中,各所述第一运动机构的运动状态相互独立,以及同一所述第一运动机构在所述第一方向上的运动状态与其在所述第二方向上的运动状态相互独立。
2.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置,其特征在于,所述位移检测单元包括位移传感器;所述位移传感器固定于所述拉伸单元上;
和/或,所述位移检测单元包括位移检测标记;所述位移检测标记设置于所述拉伸单元上。
3.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置,其特征在于,所述柔性单元包括可伸缩弹性件。
4.根据权利要求1所述的金属掩模的张网装置,其特征在于,还包括:多个第二运动机构;
位于同一侧的各所述夹持拉伸模块设置于同一所述第二运动机构上;所述第二运动机构带动所述夹持拉伸模块沿所述第二方向运动,以使各所述夹持拉伸模块在所述第二方向上发生位移。
5.根据权利要求4所述的金属掩模的张网装置,其特征在于,还包括:与各所述第二运动机构一一对应设置的位置检测模块;
所述位置检测模块用于检测对应的所述第二运动机构的位置信息。
6.根据权利要求5所述的金属掩模的张网装置,其特征在于,所述位置检测模块包括光栅尺或干涉仪。
7.一种金属掩模的张网方法,采用金属掩模的张网装置执行,所述金属掩模的张网装置包括多个拉伸单元,所述金属掩模包括预对准标记、多个TP标记和多个像素标记,所述多个像素标记中包括至少一个第一像素标记,其特征在于,包括:
当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时,基于所述拉伸单元的位移量与所述第一像素标记的像素标记位置偏差的对应关系,求解所述金属掩模的线性张网矩阵;
当所述金属掩模在Z轴的旋转方向的角度与预设角度的差异在第一预设角度偏差范围内、所述TP标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第一预设偏差范围内、以及各所述像素标记的当前位置与其目标位置之间的偏差在第二预设偏差范围内时,获取所述第一像素标记的当前位置坐标、各所述第一像素标记目标位置坐标、以及所述拉伸单元的当前位置坐标;
根据所述线性张网矩阵、以及各所述第一像素标记的当前位置坐标和目标位置坐标,一一对应地确定各所述拉伸单元的目标位移量;
根据各所述拉伸单元的目标位移量和各所述拉伸单元的当前位置坐标,一一对应地控制各所述拉伸单元由所述拉伸单元的当前位置移动至所述拉伸单元的目标位置。
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