[发明专利]一种无偏振的倾斜入射平板分色系统

权利要求书

1.一种无偏振的倾斜入射平板分色系统，包括依次设置的第一分色镜、第二分色镜和反光镜，其特征在于，所述的第一分色镜包括第一基底以及设置在所述第一基底表面上的第一分色膜；

所述的第二分色镜包括第二基底以及设置在所述第二基底表面上的第二分色膜；

所述的反光镜包括第三基底以及设置在所述第三基底表面上的反光膜；

所述的第一分色膜为反红透绿蓝分色膜，所述的第二分色膜为反绿透蓝分色膜，所述的反光膜为蓝反光膜；

所述的反红透绿蓝分色膜和反绿透蓝分色膜都是短波通滤光膜，其初始结构均由调谐带通滤光膜的基本周期组成，每个基本周期均包含依次层叠的前反射镜、调谐间隔层和后反射镜；

所述的前反射镜、调谐间隔层和后反射镜均由依次交替的高折射率膜和低折射率膜组成；

所述的调谐间隔层为低折射率膜；

所述的蓝反光膜是长波通反射膜，由依次交替的高折射率膜和低折射率膜组成。

2.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的高折射率膜为TiO₂膜，所述的低折射率膜为SiO₂膜。

3.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的前反射镜依次由高折射率TiO₂膜、低折射率SiO₂膜和高折射率TiO₂膜构成。

4.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的调谐间隔层由低折射率SiO₂膜构成。

5.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的后反射镜依次由高折射率TiO₂膜、低折射率SiO₂膜、高折射率TiO₂膜和低折射率SiO₂膜构成。

6.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的反红透绿蓝分色膜包含9～15个基本周期。

7.根据权利要求6所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的反红透绿蓝分色膜中，每个基本周期的前反射镜为3层膜，调谐间隔层为调谐系数2～3的单层膜，后反射镜为4层膜。

8.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的反绿透蓝分色膜包含9～15个基本周期。

9.根据权利要求8所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的反绿透蓝分色膜中，每个基本周期的前反射镜为3层膜，调谐间隔层为调谐系数2～3的单层膜，后反射镜为4层膜。

10.根据权利要求1所述的无偏振的倾斜入射平板分色系统，其特征在于，所述的第一基底、第二基底和第三基底均为光学玻璃，在波长550nm的折射率为1.5；

所述高折射率的TiO₂膜和低折射率的SiO₂膜在波长550nm的折射率分别为2.44和1.46。