[发明专利]一种椭偏测量初始入射角校准装置及方法

权利要求书

1.一种椭偏测量初始入射角校准装置，其特征在于，包括：

平移装置，所述平移装置包括平移平台、CCD相机和远心镜头，所述远心镜头可拆卸式安装于所述CCD相机上，所述CCD相机在所述平移平台上平移；

第一俯仰调节装置，所述第一俯仰调节装置包括第一俯仰偏摆调节平台和安装于所述第一俯仰偏摆调节平台上的自准直仪；

第二俯仰调节装置，所述第二俯仰调节装置包括第二俯仰偏摆调节平台和安装于所述第二俯仰偏摆调节平台上的稳频激光器；

中间调节装置，所述中间调节装置包括位置调节平台和安装于所述位置调节平台上的五棱镜，所述五棱镜能够平行于以及垂直于所述CCD相机的平移方向平移；

所述CCD相机的平移方向同时平行于所述自准直仪轴线的俯仰旋转平面和所述稳频激光器轴线的俯仰旋转平面。

2.根据权利要求1所述的椭偏测量初始入射角校准装置，其特征在于，还包括基座，所述平移平台、所述第一俯仰偏摆调节平台、所述第二俯仰偏摆调节平台和所述位置调节平台均安装于所述基座上。

3.根据权利要求1所述的椭偏测量初始入射角校准装置，其特征在于，所述第一俯仰调节装置还包括自准直仪安装座，所述自准直仪安装于所述自准直仪安装座上，所述自准直仪安装座安装于所述第一俯仰偏摆调节平台上。

4.根据权利要求1所述的椭偏测量初始入射角校准装置，其特征在于，所述第二俯仰调节装置还包括稳频激光器安装座，所述稳频激光器安装于所述稳频激光器安装座上，所述稳频激光器安装座安装于所述第二俯仰偏摆调节平台上。

5.根据权利要求1所述的椭偏测量初始入射角校准装置，其特征在于，所述位置调节平台为二维运动平台，所述位置调节平台的两个运动方向分别平行于以及垂直于所述自准直仪轴线的方向。

6.一种椭偏测量初始入射角校准方法，使用如权利要求1-5任意一项所述的椭偏测量初始入射角校准装置，并包括如下步骤：

S1、在未安装远心镜头的状态下，使平移平台驱动CCD相机在一维方向重复运动；

S2、调整第一俯仰偏摆调节平台的俯仰角度，使CCD相机重复运动时反射光的位置不变；

S3、CCD相机装上远心镜头，移开五棱镜，稳频激光器出射一束激光，经远心镜头在CCD相机的感光面上成像激光光斑，使平移平台驱动CCD相机在一维方向上重复运动；

S4、通过调整第二俯仰偏摆调节平台的俯仰角度，使稳频激光器出射激光在CCD相机感光面成像位置不发生变化。