[发明专利]一种钨钛合金靶材及其制备方法、应用

权利要求书

1.一种钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将钨粉和钛粉混合均匀，得到混合合金粉末；钨粉和钛粉的质量比为：钨粉：钛粉＝9:1；钨粉的纯度≥5N，粉体粒度为2-10μm；钛粉的纯度为3N，粉体粒度为30-45μm；

(2)用石墨纸将模具内部铺满后，将石墨纸、垫片、步骤(1)中得到的混合合金粉末装入模具中；其中，所述石墨纸、垫片、混合合金粉末的装入顺序从下往上依次为：石墨纸、垫片、合金粉；石墨纸、垫片、合金粉作为一个整体模块，所述模块在模具中至少2个；最后依次加入石墨纸、垫片后封装模具；

(3)将步骤(2)中的模具进行脱气后，置于热等静压炉中烧结，反应一段时间后冷却至25-30℃，取出模具，得到钨钛合金靶坯；脱气的温度为300-500℃，脱气的时间为3-6h；热等静压的温度为950-1100℃，热等静压的时间为2-4h，热等静压的压力为25-30ksi；

(4)将步骤(3)中的钨钛合金靶坯进行机加工处理后，得到所述钨钛合金靶材。

2.如权利要求1所述的钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，钨粉和钛粉采用滚筒球磨机或三维混料机进行混合，混合时加入锆球，并通入惰性气体。

3.如权利要求2所述的钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，锆球和钨钛混合粉末的质量比为：锆球：钨钛混合粉末＝2-4:1；混合的时间为2-6h。

4.如权利要求1所述的钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中，机加工方式为水切割、磨床、线切割中的至少一种。

5.一种由权利要求1-4任一项所述的钨钛合金靶材的制备方法制备得到的钨钛合金靶材。

6.一种如权利要求5所述的钨钛合金靶材在半导体集成电路、太阳能电池中的应用。