[发明专利]一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法

权利要求书

1.一种提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将合金熔体浇铸到模具内，冷却成型后，检查表面异常区域；合金熔体中Sc和Al的原子数百分比为：Sc：Al＝(5～15):(95～85)；

(2)将步骤(1)得到的冷却后的合金材料剪切成块，得到正常合金块；将异常区域和未浇铸出留底部分的合金材料剪切成块后单独放置，得到异常合金块；

(3)将步骤(2)中得到的合金块沿着坩埚内部进行放置；其中，正常合金块放置在坩埚内部的中间位置，异常合金块放置在坩埚内部的四周位置；

(4)将坩埚进行加热熔炼，熔化均匀后浇铸到模具内成型，得到所述铝钪合金靶材；其中，浇铸时的铝钪合金熔体占加入的合金块的重量百分比为55％-65％。

2.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，模具为水冷铜模具；水冷铜模具的底部直径为300-500mm，水压为0.18-0.28MPa，水温为8-15℃。

3.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，异常区域的特征为：出现明显色差，表面凹凸不平，出现不规则形状；未浇铸出留底部分的特征为：有凸起物或者残余较多。

4.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，剪切工具包括剪板机、撕碎机、液压剪切器中的至少一种；正常合金块和异常合金块的尺寸为：长×宽＝1-5cm×1-5cm。

5.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(4)中，加热熔炼时的具体过程为：调整加热功率控制加热温度，加热功率的速率为200-400W/min，加热至1200-1300℃后熔炼5-7min。

6.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(4)中，浇铸过程中，浇铸的时间为5-8s，浇铸的速率为0.6-1.0kg/s。

7.如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法，其特征在于，所述步骤(4)中，铝钪合金靶材的厚度为10-25mm，直径为200-350mm。

8.一种采用如权利要求1所述的提高铝钪合金靶材均匀性的方法制备得到的铝钪合金靶材。