[发明专利]感光模组及其制备方法、指纹识别模块和X射线探测器

权利要求书

1.一种感光模组，其特征在于，包括：

衬底；

器件层，设置于所述衬底上，所述器件层包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括源极和漏极；

光电二极管，位于所述器件层背离所述衬底的一侧，所述光电二极管包括沿远离所述衬底的方向依次设置的导电层、P型半导体层、本征半导体层和N型半导体层；

电极层，位于所述光电二极管背离所述衬底的一侧，所述电极层包括间隔分布的正电极和负电极；

其中，所述N型半导体层为透明层，所述N型半导体层通过所述正电极与所述漏极或者所述源极电连接，所述P型半导体层通过所述导电层与所述负电极电连接。

2.根据权利要求1所述的感光模组，其特征在于，还包括位于所述器件层与所述电极层之间的平坦化层，所述平坦化层覆盖所述源极、漏极和所述光电二极管，所述N型半导体层暴露在所述平坦化层外，并与所述正电极电连接；

所述平坦化层设置有间隔分布的第一过孔和第二过孔，所述正电极通过所述第一过孔与所述漏极或者所述源极电连接，所述导电层通过所述第二过孔与所述负电极电连接。

3.根据权利要求1所述的感光模组，其特征在于，所述源极或者所述漏极与所述导电层同层设置。

4.根据权利要求1所述的感光模组，其特征在于，所述N型半导体层的材质包括IGZO或者ITZO。

5.根据权利要求1所述的感光模组，其特征在于，所述平坦化层和/或所述电极层的所述负电极为透明层。

6.一种感光模组的制备方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成器件层，所述器件层包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括源极和漏极；

在所述器件层背离所述衬底的一侧形成光电二极管，所述光电二极管包括沿远离所述衬底的方向依次设置的导电层、P型半导体层、本征半导体层和N型半导体层，其中所述N型半导体层为透明层；

在所述器件层背离所述衬底的一侧形成平坦化层，所述平坦化层覆盖所述源极、所述漏极和所述光电二极管，所述N型半导体层暴露在所述平坦化层外，所述平坦化层设置有间隔分布的第一过孔和第二过孔；

在所述平坦化层上形成电极层，所述电极层包括间隔分布的正电极和负电极，所述正电极与所述N型半导体层接触，且所述正电极通过所述第一过孔与所述漏极或者所述源极电连接，所述负电极通过所述第二过孔与所述导电层电连接。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在所述器件层背离所述衬底的一侧形成光电二极管的步骤包括：

在所述器件层背离所述衬底的一侧形成导电层；

在所述导电层上沉积形成P型半导体层；

在所述P型半导体层上沉积形成本征半导体层；

在所述本征半导体层上溅射IGZO或者ITZO，以形成N型半导体层；

图案化所述N型半导体层、所述本征半导体层、所述P型半导体层和导电层，形成所述光电二极管。

8.一种指纹识别模块，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的感光模组。

9.一种X射线探测器，其特征在于，包括：

如权利要求1至5任一项所述的感光模组；

绝缘层，位于所述感光模组的电极层背离衬底的一侧；

转换层，位于所述绝缘层背离所述衬底的一侧，用于将入射的X射线转换为可见光。

10.根据权利要求9所述的X射线探测器，其特征在于，所述转换层包括闪烁体或者荧光体。