[发明专利]单色仪波长误差校准装置及校准方法

权利要求书

1.一种单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置包括：

超连续谱激光器(10)；

单色仪(20)，所述单色仪(20)与所述超连续谱激光器(10)连接；

干涉组件(30)，所述干涉组件(30)设置在所述单色仪(20)的正弦驱动机构上，所述干涉组件(30)用于对所述单色仪(20)输出的单色光进行干涉以产生干涉条纹；

探测器(40)和成像单元(50)，所述探测器(40)用于采集所述干涉条纹并显示在所述成像单元(50)上；

控制处理器(60)，所述控制处理器(60)与所述单色仪(20)连接，所述控制处理器(60)用于驱动所述单色仪(20)的正弦驱动机构反复移动并根据所述成像单元(50)上的所述干涉条纹的变化对所述单色仪(20)的波长误差进行校准。

2.根据权利要求1所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述干涉组件(30)包括参考角锥反射镜(31)、分光镜(32)和目标角锥反射镜(33)，所述单色仪(20)包括单色仪本体(21)和所述正弦驱动机构(22)，所述参考角锥反射镜(31)和所述分光镜(32)设置在所述单色仪本体(21)上，所述目标角锥反射镜(33)设置在所述正弦驱动机构(22)上，所述正弦驱动机构(22)用于带动所述目标角锥反射镜(33)移动。

3.根据权利要求2所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述干涉组件(30)还包括补偿板(34)，所述补偿板(34)设置在所述正弦驱动机构(22)上，所述补偿板(34)与所述分光镜(32)平行设置，所述补偿板(34)用于提高干涉图像的清晰度。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置还包括倍频晶体(70)，所述倍频晶体(70)设置在所述超连续谱激光器(10)和所述单色仪(20)之间，所述倍频晶体(70)用于将所述超连续谱激光器(10)发出的激光调制为设定频率和波长的激光。

5.根据权利要求4所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置还包括第一光纤准直透镜(80)，所述第一光纤准直透镜(80)设置在所述超连续谱激光器(10)和所述倍频晶体(70)之间，所述第一光纤准直透镜(80)用于对所述超连续谱激光器(10)发出的激光进行准直。

6.根据权利要求5所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置还包括第一光纤会聚透镜(90)，所述第一光纤会聚透镜(90)设置在所述倍频晶体(70)和所述单色仪(20)之间，所述第一光纤会聚透镜(90)用于对所述倍频晶体(70)输出的激光进行会聚。

7.根据权利要求6所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置还包括第二光纤准直透镜(100)，所述第二光纤准直透镜(100)设置在所述第一光纤会聚透镜(90)和所述单色仪(20)的入射狭缝之间，所述第二光纤准直透镜(100)用于对所述第一光纤会聚透镜(90)输出的激光进行准直。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的单色仪波长误差校准装置，其特征在于，所述单色仪波长误差校准装置还包括第二光纤会聚透镜(110)，所述第二光纤会聚透镜(110)设置在所述单色仪(20)的出射狭缝和所述干涉组件(30)之间，所述第二光纤会聚狭缝用于对所述单色仪(20)输出的单色光进行会聚；和/或所述单色仪波长误差校准装置还包括第三光纤准直透镜(120)，所述第三光纤准直透镜(120)设置在所述第二光纤会聚透镜(110)和所述干涉组件(30)之间，所述第三光纤准直透镜(120)用于对所述第二光纤会聚透镜(110)输出的单色光进行准直。