[发明专利]一种椭偏仪实时测量结果优化方法有效
| 申请号： | 202110907157.2 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113609687B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 苗政委;汤媛媛;魏凯;张雨东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G01B11/00;G01N21/21;G06F119/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 椭偏仪 实时 测量 结果 优化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一：测量椭偏仪的噪声组成及其噪声系数；
步骤二：使用椭偏仪测量一个完整周期，计算得到傅里叶系数和归一化傅里叶系数；
步骤三：利用步骤一和步骤二的结果，估算出椭偏仪的实时测量结果的方差；
步骤四：基于所述方差计算出用于实时测量结果拟合优化的目标函数；
步骤五：使用步骤四得到的目标函数计算得到椭偏仪测量结果。
2.根据权利要求1所述的一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，基于所述噪声组成建立噪声模型，所述噪声模型为多项式，所述多项式项数大于等于三项。
3.根据权利要求1所述的一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，所述的椭偏仪为穆勒矩阵椭偏仪。
4.根据权利要求1所述的一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，所述的椭偏仪为双旋转补偿器式椭偏仪。
5.根据权利要求1所述的一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，椭偏仪测量结果计算时，使用的被拟合参数是归一化傅里叶系数。
6.根据权利要求1所述的一种椭偏仪实时测量结果优化方法，其特征在于，步骤四中，将所述方差带入加权目标函数得到用于实时测量结果拟合优化的目标函数。
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