[发明专利]用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置

权利要求书

1.一种用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，从下到上依次包括底座、驱动模块和动平台，所述驱动模块包括第一驱动模块和第二驱动模块，第一驱动模块和第二驱动模块呈类T形结构设置，所述第一驱动模块驱动所述动平台沿第一方向运动，所述第二驱动模块驱动所述动平台沿与所述第一方向垂直的第二方向运动；

所述驱动模块包括驱动装置、导轨、基板和直线轴承；所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述导轨包括第一导轨和第二导轨，所述基板包括第一基板和第二基板，所述直线轴承包括第一直线轴承和第二直线轴承；所述第一驱动装置和第二驱动装置呈类T型设置在所述底座上，两个所述第一导轨平行设置在所述第一驱动装置的两侧，两个所述第二导轨平行设置在所述第二驱动装置的两侧；所述第一基板的下表面与所述第一导轨和第一驱动装置分别连接，所述第一基板在所述第一驱动装置的驱动下可沿所述第一导轨的长度方向做往返运动；所述第二基板下表面与所述第二导轨和第二驱动装置连接，所述第二基板在所述第二驱动装置的驱动下可沿所述第二导轨的长度方向做往返运动；所述第一直线轴承设置在所述第一基板的上表面且垂直于所述第一导轨，所述第二直线轴承设置在所述第二基板的上表面且垂直于所述第二导轨；所述第一直线轴承和所述第二直线轴承均与所述动平台连接；所述动平台可在所述驱动装置的驱动下沿第一方向或第二方向做往返运动，所述第一方向和第二方向相互垂直；

所述装置还包括光栅尺读数头和标尺，所述光栅尺读数头包括第一光栅尺读数头和第二光栅尺读数头，所述标尺包括第一标尺和第二标尺；所述第一光栅尺读数头和所述第一标尺分别设置在所述第一基板的一侧且与所述第一直线轴承平行，所述第二光栅尺读数头和所述第二标尺分别设置在所述第二基板的一侧且与所述第二直线轴承平行。

2.根据权利要求1所述的用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，所述底座包括底板和垂直于所述底板的第一固定板和第二固定板，两个所述第一固定板平行间隔设置形成第一凹槽，两个所述第二固定板平行间隔设置形成第二凹槽，所述第一驱动装置固定于所述第一凹槽中，所述第二驱动装置固定于所述第二凹槽中，两个所述第一导轨分别设置在两个所述第一固定板的上表面，两个所述第二导轨分别设置在两个所述第二固定板的上表面。

3.根据权利要求2所述的用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一定子和第一动子，所述第二驱动装置包括第二定子和第二动子，所述第一定子和第二定子分别固定在所述第一凹槽和第二凹槽中，所述第一动子和第二动子分别与所述第一基板和第二基板连接。

4.根据权利要求2所述的用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，所述第一导轨包括第一滑轨和第一滑块，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动连接；两个所述第一滑轨分别设置在所述第一固定板的上表面，所述第一滑块与所述第一基板连接。

5.根据权利要求2所述的用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，所述第二导轨包括第二滑轨和第二滑块，所述第二滑块和所述第二滑轨滑动连接；两个所述第二滑轨分别设置在所述第二固定板的上表面，所述第二滑块与所述第二基板连接。

6.根据权利要求1所述的用于光电子器件封装的单边直线电机驱动的共面运动装置，其特征在于，所述第一基板包括第一平板和垂直于所述第一平板的第一支撑板，所述第一直线轴承固定于所述第一平板的上表面，所述第一支撑板设置在所述第一平板的一侧且与所述第一直线轴承平行，所述第一光栅尺读数头和所述第一标尺分别设置在所述第一支撑板上；所述第二基板包括第二平板和垂直于所述第二平板的第二支撑板，所述第二直线轴承固定于所述第二平板的上表面，所述第二支撑板设置在所述第二平板的一侧且与所述第二直线轴承平行，所述第二光栅尺读数头和所述第二标尺分别设置在所述第二支撑板上。