[发明专利]含焊球载板及其制造方法在审
申请号: | 202110925522.2 | 申请日: | 2021-08-12 |
公开(公告)号: | CN115938949A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 陈玺翔 | 申请(专利权)人: | 礼鼎半导体科技(深圳)有限公司;碁鼎科技秦皇岛有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 许春晓;习冬梅 |
地址: | 518105 广东省深圳市宝安区新安街道海旺*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含焊球载板 及其 制造 方法 | ||
一种含焊球载板的制造方法,包括步骤:提供一母板,母板包括本体部及电性连接本体部的多个焊盘,焊盘间隔设置于本体部的一侧。于焊盘上设置绝缘膜,介质层贯穿设置有多个开孔,焊盘于开孔的底部露出。于开孔内设置填入焊料。加热熔融焊料以形成焊球,焊球包括第一端部、第二端及连接部,连接部连接于第一端与第二端之间,第一端及连接部容置于开孔内,第一端电性连接焊盘,第二端凸出开孔,以及移除部分绝缘膜,使得连接部露出开孔,获得含焊球载板母板。本申请提供的制造方法有利于在距离小于90微米的相邻两个焊盘上形成焊球。另外,本申请还提供一种含焊球载板。
技术领域
本申请涉及一种含焊球载板及其制造方法。
背景技术
一般情况下,锡膏植球技术主要包括以下步骤:在载板上侧覆盖钢网,使得钢网上各网孔的位置对应于载板上各焊盘位置;在钢网上侧涂覆锡膏,并采用刮刀在钢网上侧刮涂,使得锡膏填充钢网上的各网孔,以形成涂覆于各焊盘位置的焊珠;移除网板;对载板进行回流焊,使多个焊珠熔化成一体形成焊球。然而,对于焊盘间距小于90微米的载板而言,回流焊加热容易导致相邻的焊球聚拢形成更大焊球,从而造成短路。
发明内容
为解决背景技术中的问题,本发明的目的在于提供一种含焊球载板的制造方法。
另外,还有必要提供一种含焊球载板。
一种含焊球载板的制造方法,包括步骤:提供一母板,所述母板包括本体部及电性连接所述本体部的多个焊盘,所述焊盘间隔设置于所述本体部的一侧。于所述焊盘上设置绝缘膜,所述绝缘膜沿厚度方向贯穿设置有多个开孔,所述焊盘于所述开孔的底部露出。于所述开孔内设置填入焊料。加热熔融所述焊料以形成焊球,所述焊球包括第一端、第二端及连接部,所述连接部连接于所述第一端与所述第二端之间,所述第一端及所述连接部容置于所述开孔内,所述第一端电性连接所述焊盘,所述第二端凸出所述绝缘膜,以及移除部分所述绝缘膜,使得所述连接部露出所述开孔,获得所述含焊球载板。
进一步地,所述绝缘膜包括介质层,步骤“移除部分所述绝缘膜”包括:通过等离子体蚀刻的方式移除远离所述焊盘的部分所述介质层。
进一步地,所述绝缘膜包括介质层及可剥离层,所述介质层设置于所述本体部和所述可剥离层之间,步骤“移除部分所述绝缘膜”包括:剥离所述可剥离层。
进一步地,所述母板包括多个子板,所述含焊球载板的制造方法还包括:锯切所述母板以获得多个所述子板。
进一步地,所述焊料包括锡膏或者锡珠。
进一步地,所述焊料与所述绝缘膜的外表面齐平。
进一步地,相邻两个所述焊盘之间的距离小于90微米。
进一步地,所述开孔包括第一部分及与所述第一部分连通的第二部分,所述第二部分设置于所述第一部分与所述焊盘之间,所述第一端容置于所述第一部分内,所述第二端容置于所述第二部分内。
进一步地,所述第一部分截面呈梯形,所述第二部分截面呈方形。
一种含焊球载板,包括子板、绝缘膜以及焊球,所述子板包括本体部及电性连接所述本体部的多个焊盘,所述焊盘间隔设置于所述本体部的一侧,所述绝缘膜设置于所述焊盘上,所述绝缘膜沿厚度方向贯穿设置有开孔,所述焊盘于所述开孔的底部露出,所述焊球包括第一端、第二端及连接于所述第一端和所述第二端之间的连接,所述第一端容置于所述开孔内,所述第二端及所述连接部凸出于所述绝缘膜。
本申请提供的含焊球载板的制造方法通过先在复合膜上设置开孔,所述开孔容置焊料,使得加热熔融所述焊料时,相邻两个所述开孔内的所述焊料不会发生桥连短路,有利于在距离较小的相邻两个所述焊盘上形成所述焊球。
附图说明
图1为本申请一实施例提供的母板的示意图。
图2为图1所示的母板设置第一介质层的示意图。
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