[发明专利]一种修复Wafer包装盒的工艺在审

专利信息
申请号: 202110927249.7 申请日: 2021-08-13
公开(公告)号: CN113695272A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 许子俊;马曾增;陈伟 申请(专利权)人: 江苏中科晶元信息材料有限公司
主分类号: B07C7/00 分类号: B07C7/00;B08B7/00;B08B7/04;B08B3/12;B08B9/08;B08B13/00
代理公司: 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 代理人: 李宏伟
地址: 215611 江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 修复 wafer 包装 工艺
【说明书】:

发明及一种修复Wafer包装盒的工艺,其修复工艺包括:按照掺杂类型对千级洁净间内的Cassette回收并分类,采用热风枪或化学处理方式对表面无明显硬性损伤的Cassette标签剥离处理,最后通过夹板强制成型。该修复Wafer包装盒的工艺,在保证Wafer Cassette洁净度的条件下对其进行回收并分类,选择无明显硬性损伤的Cassette进行修复,并完成Wafer Cassette外观标识的轻松移除和对弹簧片或卡条进行变形修复,使重复使用包装盒的有机气体恢复最佳水平。

【技术领域】

本发明涉及Wafer包装盒领域,具体涉及一种修复Wafer包装盒的工艺。

【背景技术】

半导体行业中晶元(Wafer)、光伏行业中的硅片以及LED行业的蓝宝石晶片等在运输过程中都需要使用Wafer包装盒作为周转存储用,现有的Wafer包装盒的要求比较高,体现在其表面的洁净度,颗粒和外观尺寸精度上,且由于生产成本、使用要求高,Wafer包装盒均不作为一次性使用产品,但在实现多次利用的前提下,存在着以下阻碍因素:其一、外观标识的移除比较困难;其二、表面划痕,沟槽的清洗要点,其三、弹簧片或卡条的变形修复;其四、洁净度难以保证;其五、重复使用包装盒的有机气体水平偏低,减少产品包装时长时效。针对上述提出的问题,亟需设计出一种修复Wafer包装盒的工艺,以达到多次重复使用的效果。

【发明内容】

为解决上述问题,本发明的目的在于提供一种修复Wafer包装盒的工艺,解决了现有影响Wafer包装盒多次使用的因素:其一、外观标识的移除比较困难;其二、表面划痕,沟槽的清洗要点,其三、弹簧片或卡条的变形修复;其四、洁净度难以保证;其五、重复使用包装盒的有机气体水平偏低,减少产品包装时长时效的问题。

为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:一种修复Wafer包装盒的工艺,该工艺按如下步骤进行:

步骤1:按照掺杂类型对千级洁净间内的Cassette回收并分类,将表面完好的Cassette置入强光灯下检查,再将表面无明显硬性损伤的Cassette取出,进入步骤2。

步骤2:将步骤1所得Cassette的盒盖平放在工作台上,使用风枪加热盒盖上贴覆的标签位置,风枪与标签呈30-40°夹角,均匀移动风枪使标签均匀加热,持续加热8-12秒后,取下Cassette盖上完整标签;或将步骤1所得Cassette盖置于超声波振动槽中,倒入醇类后加水,在30-50℃的恒温中浸泡后,取出Cassette盖,揭下Cassette盖上完整标签,进入步骤3。

步骤3:将步骤2所得Cassette,正面向上且无叠加地平放在55℃恒温水域中,浸泡20min后取出,正面向上且无叠加地平放在凉盒台上,进入步骤4。

步骤4:将夹板成型卡具放于Cassette内卡条外侧,并保持与Cassette盖面垂直,置于常温流动水中进行成型,将成型后达到合格标准的Cassette取出,进入步骤5。

步骤5:取新的Cassette作为标准,当新Cassette内部卡条与步骤4所得Cassette内部卡条的倾斜角度处于一条直线上时,得到修复完成的Cassette。

本发明中的一种修复Wafer包装盒的工艺进一步设置为:所述步骤4中,Cassette置于常温流动水中的时间不低于5min。

本发明中的一种修复Wafer包装盒的工艺进一步设置为:所述步骤2中,Cassette盖置于超声波振动槽的浸泡时间为30-45min。

本发明中的一种修复Wafer包装盒的工艺进一步设置为:所述步骤2中,风枪出风口与标签之间的距离保持在8±0.5cm。

与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:

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