[发明专利]一种卷绕镀膜设备

权利要求书

1.一种卷绕镀膜设备，其特征在于：主要包括真空室、蒸发源、镀膜主辊、移动式挡板系统、控制系统和真空系统；蒸发源设置在镀膜主辊的下方，镀膜主辊内部通有冷却液，柔性基膜绕经镀膜主辊时进行蒸发镀膜；移动式挡板系统位于真空室内；移动式挡板系统包括移动挡板、竖直移动机构、横向移动机构和清洗模块；移动挡板为两块，分别位于镀膜主辊的两侧；在真空室内为移动挡板设置有镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位和清洗相位；移动挡板在控制系统的控制下、在竖直移动机构和横向移动机构的作用下可分别进行竖直方向上的移动和横向移动，移动至镀膜遮挡相位、蒸发源屏蔽相位或清洗相位；清洗模块位于移动挡板的下方，当移动挡板处于清洗相位时，由控制系统控制清洗模块对移动挡板上的附着物进行真空环境下的在线清洗；

竖直移动机构包括导杆和竖直驱动电机，移动挡板安装固定在可沿导杆滑动的竖直滑块上，竖直驱动电机可驱动移动挡板做竖直方向上的移动；横向移动机构包括滑轨和横向驱动电机，导杆安装固定在可沿滑轨滑动的横向滑块上，横向驱动电机可通过驱动导杆带动移动挡板做横向移动；镀膜遮挡相位位于镀膜主辊的两侧靠近镀膜主辊的位置；真空镀膜时，移动挡板处于镀膜遮挡相位；竖直移动机构包括遮挡限位开关；移动挡板向上移动至镀膜遮挡相位时触发遮挡限位开关，使移动挡板定位在镀膜遮挡相位上，处于镀膜遮挡相位上的移动挡板对蒸发镀膜区域与真空室内的其它区域之间起到遮挡隔绝作用；移动挡板处于镀膜遮挡相位时，移动挡板边缘与镀膜主辊之间的间隙控制在2mm以内，该间隙形成动密封，可有效实现蒸发镀膜区域与真空室内的其它区域之间的遮挡和隔热作用，防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤；

移动挡板内设置有隔热夹层，隔热夹层为选自真空隔热腔、气体隔热腔、金属氧化铝夹层结构形式中的一种，该隔热夹层可有效帮助移动挡板实现蒸发镀膜区域与真空室内的其它区域之间的遮挡和隔热作用，防止蒸发过程中产生的高温及蒸发材料对处于镀膜主辊冷却保护范围之外的柔性薄膜造成损伤；

蒸发源屏蔽相位位于蒸发源的正上方；当蒸发源停止工作时，由控制系统先控制一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至蒸发源屏蔽相位对尚有余热的蒸发源进行屏蔽覆盖，然后控制系统再控制另一块移动挡板由镀膜遮挡相位移动至清洗相位进行清洗；待蒸发源冷却后，控制系统再控制处于蒸发源屏蔽相位的移动挡板移动至清洗相位进行清洗；

移动挡板的下表面为外凸的弧形曲面；清洗模块的清洗作用面为与移动挡板的下表面互补的内凹的弧形曲面；在清洗作用面上布置有由多列喷嘴组成的喷嘴阵列，喷嘴的朝向为清洗作用面的法向方向；清洗相位位于接近清洗模块的位置；清洗模块对处于清洗相位的移动挡板进行清洗时，通过喷嘴阵列向移动挡板的下表面喷射干冰颗粒进行清洗；竖直移动机构包括清洗限位开关；移动挡板向下移动至清洗相位时触发清洗限位开关，使移动挡板定位在清洗相位上，然后清洗模块对移动挡板进行清洗；移动挡板处于清洗相位上时，移动挡板的下表面与清洗作用面之间的间距控制在25mm以内；

蒸发源为抽屉式结构，控制系统可控制将蒸发源拉出或推回真空室；移动挡板完成清洗后，在控制系统的控制下移动返回至镀膜遮挡相位；控制系统根据蒸发源内蒸发物料的状况控制启动蒸发源进行真空镀膜，或者控制将蒸发源拉出真空室进行维护及蒸发物料装填，然后将蒸发源推回真空室，再启动蒸发源进行真空镀膜。

2.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：在清洗作用面上与弧形曲面母线垂直的一端设置有一排吹扫喷嘴，在清洗作用面上与这排吹扫喷嘴相对的一端设置有收集槽。

3.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：在清洗作用面的四个侧边上还设置有围板，使清洗模块对移动挡板进行清洗时形成一个相对独立的空间；真空室外部还设置有干冰供应源，干冰供应源与清洗模块相连接。

4.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：清洗模块对处于清洗相位的移动挡板进行清洗时，通过吹扫喷嘴吹出的高压气体将落在清洗作用面上的清洗产物吹扫至收集槽中收集；喷嘴阵列喷射干冰颗粒进行清洗和吹扫喷嘴吹出高压气体进行吹扫交替进行；干冰颗粒喷射速度不低于9m/s。

5.根据权利要求1所述的卷绕镀膜设备，其特征在于：竖直移动机构包括屏蔽限位开关；横向移动机构包括横移限位开关一和横移限位开关二；移动挡板由镀膜遮挡相位移动至蒸发源屏蔽相位时，首先向下移动触发屏蔽限位开关，使移动挡板在竖直方向上停止移动，然后横向移动机构带动移动挡板做横向移动，当移动挡板横向移动至蒸发源屏蔽相位时触发横移限位开关二，使移动挡板定位在蒸发源屏蔽相位上对蒸发源进行屏蔽覆盖；移动挡板处于蒸发源屏蔽相位时，移动挡板的下表面与蒸发源之间的间距控制在5-25mm范围内；移动挡板由蒸发源屏蔽相位移至清洗相位时，首先横向移动至触发横移限位开关一，使移动挡板在横向上停止移动，然后竖直移动机构带动移动挡板向下移动至清洗相位。